VSPARTICLEは、金属および半導体材料からナノ粒子を生成する装置とサービスを提供いたします。粒径制御に優れ、界面活性剤を使用せず、幅広い材料に対応可能な独自技術により、材料開発のスピードを大幅に加速させ、基礎研究と産業スケール生産のギャップを埋めて実用化を促進します。半導体分野では、チップ上への局所的な機能性(多孔質)膜の付加形成や、ナノ粒子の精密な堆積に特化。高性能ガスセンサー、3Dパッケージング技術、検査精度向上のための制御されたコンタミネーション技術など、複数の産業分野で活用されています。
VSPARTICLE offers R&D equipment and tech validation services for the production of metal and semiconductive nanoparticles and porous thin films based on spark ablation. Application areas include MOx gas sensors, interconnects, and controlled contamination to improve inspection. In these applications, our porous thin films excel due to their properties: build from nanoparticles, these films have very high porosity while maintaining quantum properties of the nanoparticle building blocks, such as depressed melting points and increased reactivity.
In Japan, VSPARTICLE is represented by our distributors Tokyo Dylec Corp. and Kyodo International.