皆様、島津製作所ブースへようこそ！
SEMICON Japanでは、半導体分野に貢献する革新的な技術を多数ご紹介しています。ターボ分子ポンプや超純水モニタリング用TOC計、高性能FE-SEMなど、ぜひご覧ください。
専門スタッフが皆様のご質問にお答えし、最適なソリューションをご提案いたします。
また、私たちは新たな協業パートナーを探しています。共に半導体業界の未来を切り拓きましょう！ご来場をお待ちしております！
私たちのブースでは、半導体製造装置に不可欠な真空ポンプ技術と、最新の分析機器や受託分析サービス、漏れ検査装置を幅広くご紹介します。
半導体業界の未来を見据えた、革新的なソリューションをお届けしますので、ぜひお立ち寄りください。
▶ターボ分子ポンプの革新
私たちのターボ分子ポンプは、半導体製造装置に組み込まれ、プロセスの効率を大幅に向上させます。高い排気速度と優れた真空性能を持ち、製造環境の最適化に貢献します。
これにより、製品の品質向上とコスト削減を実現します。
▶製造環境をモニタリングする幅広い分析機器ラインナップ
私たちは、超純水中の不純物管理に最適なオンラインTOC計や、様々な種類のバルクガスおよび特殊ガスの純度測定向けのガスクロマトグラフを取り揃えています。
これらの機器は、半導体製造における重要なプロセスの信頼性を高め、精度の高いデータを提供します。
▶研究開発用の分析機器
・高性能FE-SEM
素材を選ばずナノの世界へ素早くアプローチできる最高級のFE-SEM（走査型電子顕微鏡）は、使いやすさと高性能を兼ね備えています。
・電子線マイクロアナライザEPMA
縦型実装構造のパワー半導体において、SiCチップとAMB基板との接合に使用される銀粒子層の解析や、電極形成のメタライズ処理層の解析が行える
電子線マイクロアナライザEPMAを展示します。
・複合型表面分析装置
物質の極表面に存在する元素の定性・定量、化学結合状態解析が可能な複合型表面分析装置もご紹介します。
・走査型プローブ顕微鏡
高分解能での表面形状観察や物性評価を実現した走査型プローブ顕微鏡は、微細構造の解析に最適です。
▶幅広い受託分析サービス
有機フッ素化合物の分析や材料解析、強度試験、物性測定、構造解析、非破壊検査など、多岐にわたる受託分析サービスを展開しています。
環境分析や医薬品関連試験にも対応し、業界のニーズに応えます。
▶ヘリウムリークディテクタ
漏れ検査を行うヘリウムリークディテクタも展示し、製品の信頼性向上に寄与します。精密な漏れ検査を通じて、ライン管理の強化を図ります。
▶半導体業界への貢献とコラボレーション
私たちは、今後も半導体業界へのさらなる貢献を目指しています。そのために、会社を超えた協業・コラボレーションを推進中です。
新しいパートナーを募集中ですので、ぜひお話ししましょう。
出展製品