昭和鉄工

糟屋郡,  福岡県 
Japan
https://www.showa.co.jp/
  • 小間番号E5212

熱技術で半導体製造における様々なソリューションを提案いたします

SHOWAが独自に開発した30μmの超薄型面状ヒーターや最高使用温度1000℃でフレキシブルなIRセラフレックスヒーターに加え、

設備や装置排気配管の昇華物固着による目詰まり解消に開発した「ヒータブルパイプ」などを展示、半導体後工程プロセス用途として

開発中のOVENも紹介しています。

ヒーターは温度分布コントロール、急速昇温等、用途に応じたパターン設計が出来、可能性が無限に広がる商品です。

その優れた特徴を活かした加熱装置や電気炉の設計・製作にも多数の実績・ノウハウがあります。

日本、台湾に生産拠点があり、中国への販売も実績多数。アフターサービス体制も整えており、グローバルに対応している会社です。

是非お立ち寄りください。


 出展製品

  • ヒータブルパイプ
    工業用熱処理炉などで発生した昇華物の配管内部への付着を低減させるヒータ内部型のパイプ部品です。 昇華成分の付着を防止することで被加熱物の清浄度を保ち、付着物除去のメンテンナンス手間も削減します。...

  • あらゆる昇華物発生装置の配管に導入可能

    気体とヒータは非接触設計
    内面化粧板と接続継手等の継ぎ目には高耐熱用シール材によりシール構造を設けるため、内部の気体とヒータが直接接触することがない構造です。

    配管内部加熱で熱ロス削減
    配管内部から加熱することで従前のような配管外部からの保温よりも効果的に加熱保温が可能です。

    配管内部密着性
    曲面追従性の高いシリコンラバーヒータを採用し、配管内部の密着性を向上させ、伝熱効率を高めます。さらに内面化粧板に薄い金属板を採用し、円周方向への弾性力によりヒータを密着させています。

    過昇温防止機能/各種制御搭載
    ヒータには過昇温センサが内蔵されており、過度な温度上昇を防止して、ヒータを保護します。またPID制御をはじめON/OFF制御など様々な制御への対応が可能であり、制御設計自由度が高いコンセプトとなっております。

  • 半導体後工程用「熱風循環炉」
    先端半導体パッケージ技術が注目を集めています。 キャリア材の熱処理工程においてマルチな用途に対応できる熱処理デバイスです。 長年培った熱処理技術で、お客様の課題解決に貢献いたします。 ...

  • マルチな機能
    高温対応:最高使用温度 400℃
    クリーン性能:Class 100   (450℃耐熱HEPA搭載)
    低酸素対応:酸素濃度100ppm
    マルチな用途
    キャリア材の熱処理におけるマルチな用途に対応します
    用途例:成膜焼成 乾燥 試験・評価
    多彩な機能で高精度の熱処理を実現
    1.ワーク形状は自由の為。プロセスの汎用性が拡大
    2.酸素濃度をレシピ管理 省エネを実現
    3.給気ラインヒーターで温度精度向上
    4.専用ジグでフィルター交換の負荷軽減
  • IRセラフレックスヒーター
    遠赤外線放射特性の高いセラミック碍子に電熱線を通して編組みした、フレキシブルなセラミックヒーターです。 編組構造の特性を活かした自由な形状・サイズ展開が特徴で、使用可能温度は1,000℃、耐久性にも優れています。 カーボンニュートラルに向けた電気加熱への切り替えを実現します。...

  • フレキシブル
    独自の編組み構造で高いフレキシビリティ

    最高使用温度1,000℃
    高い温度精度で最高1,000℃まで使用可能

    サイズフリー
    自由なサイズ・形状で設計可能

    脱炭素社会へ
    燃焼から電気加熱へ移行し、カーボンニュートラルに貢献

  • ホットプレート SBFシリーズ
    耐熱衝撃性に優れ、高精度な温度均一性を有したプレート型ヒーターです。 発熱体には自社製の各種薄型ヒーターを採用、MAX450℃の温度で使用可能です。 プレート素材は、各種金属、セラミック複合材等、用途に合わせて選択できます。 急速昇降温や高いクリーン度にも対応でき、半導体・液晶の生産設備等にご利用いただけます。...

  • 半導体・液晶製造工程用ホットプレート

    高い耐熱衝撃性、熱均一性

    ニーズに応じたサイズで設計