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ウエハの形状測定でお困りのお客様へベストフィットするご提案をいたします。 是非ブースまで足をお運びください。
● ウエハ向け形状測定システム【 Dyvoce（ダイボス） 】 ・ 小口径から大口径まで測定可能 ・ SEMI規格対応 ・ 自重たわみ補正による真の形状評価 ・ 枚葉機/自動機 ・ 応力解析：形状測定のデータから成膜ウエハ・ベアウエハの応力を解析 ・ TAIKOウエハ形状測定（自動機のみ）
● ウエハアライメント用ステージユニット【 RST Aligner 】 ・ テーブルサイズ自在 ・ 大口径透過穴対応 ・ 6軸アライメント ・ 100nmピッチの往復ステップでもフィードバック不要 ・ 1ton耐荷重仕様も製作可能
● ウエハ検査/分析用ステージユニット ・駆動中の姿勢変化を抑制し、ワーク位置でも高い位置決め精度を維持 ・上軸の重心移動を全ストロークで支持する高剛性設計
● ハンドラー用高耐荷重ステージ ・6軸アライメント ・高速駆動や薄型ロングストロークなど、多彩なZステージをご提案可能 ・多ピン化、マルチサイト化による通電検査時の高負荷にも耐えうる高強度ステージ
●光ファイバー調芯用ステージ ・高分解能、低ドリフトステージでシリコンフォトニクス製造の自動化を推進 ・6軸アライメント
ウエハの貼り合わせに必要な高剛性も兼ね備えています。（φ600mmサイズで、静止時負荷容量1000kgf）
テーブル、ベースはカスタマイズ可能で、中心に大口径の透過穴も開口可能。
両面測定からの演算や単純なシミュレーションでの自重たわみ補正から大幅に進化。
膨大なデータを用いるインフォマティクスの力でウエハの反り値・形状のより真値に近い出力を実現。