■測長機能付きＡＯＩ SXシリーズ
最新モデルでは次世代ファインパターンL/S：1.5/1.5μmまで対応可能です。
パターン検査だけでなく、PCBやセラミック基板、CCLの各種外観検査を行うこと
が可能です。オプションでAI判定機能も付いていますので、ベリファイ工数を大幅に
削減することも可能です。
■測長機能搭載ロールtoロール型ＡＯＩ RAシリーズ
この装置は連続搬送しながら検査をおこなうため、高速で高精細にロール状の製品
を検査します。パターン検査だけでなくレーザービア、タッチパネルやITO等の検査
に最適です。巻出し/巻取ユニットと一体型のため、大変コンパクトなデザインです。
また片面/両面検査どちらにも対応しております。