国内外のネットワークで最適装置を提案。新規も中古も部品も、世界とつながるインターテック販売です。
インターテック販売は、中古半導体製造装置の売買をはじめ、海外メーカーの正規代理店として商品を輸入販売している他、お客様のニーズに合わせた保証、アフターサービスのある再生装置も提供しております。
余剰装置の買取及び移設、撤去作業も多数実績があり、海外でも自社スタッフが在住している拠点があるため、アジアを中心とした 現地サポートもお気軽にご相談ください。
これまでの信頼と実績でお客様の生産業務を総合的にサポートいたします。
【再生装置】中古装置をアフターサービスのある再生装置へ
グループ会社インターテックエンジニアリング内のクリーンルームにて中古装置を再生致します。デモ、評価体制も整えておりますので、導入までご安心いただきサポート致します。
対象装置：Mask Aliner・CD-SEM・Nikon Stepper・Canon Stepper
【校正サービス】KEYSIGHT製DCパラメトリックテストシステム4070シリーズオンサイト校正サービス対応致します。メーカーでの校正対応終了でお困りでしたら、ご相談下さい。修理及び部品供給サービスにも対応しております。
【Lam Research社製レガシー装置サポート代理店】Lam Research社製レガシー装置のサポートをしている米Concept Part Solutions, Inc.とOrbit & Skyline, Inc. 2社の国内代理店をしております。ライセンスが移管された装置部品の販売からサポートまで対応しております。
【新規商材】RTP装置「1200Aシリーズ」PREMTEK社
PREMTEK社の「1200Aシリーズ」は、SiCやGaNをはじめとする化合物半導体に対応した急速熱処理装置です。真空や無酸素環境で安定した温度制御を行い、金属アニーリングやシリサイド形成などの工程で均一な処理を実現します。高温域でもばらつきの少ないプロセスが可能で、研究開発から量産まで幅広く利用されています。デモの実施も可能です。
【新規商材★実物展示有】TCウェハー（温度センサー付きウェハー）PREMTEK社
TCウェハーは、ウェハー内部に温度センサーを組み込み、加工中の温度変化を正確に測定できる製品です。お客様のウェハを用いたデータ取得にも対応し、プロセス中の温度分布を均一に把握できます。装置の立ち上げや条件確認に有効で、工程の安定化や品質向上に役立ちます。
【新規商材】SiC/GaNウェーハ欠陥検査システム「Nuvis 6845シリーズ」VisionTech社
Nuvis 6845シリーズは、微分干渉顕微鏡（DIC）による表面欠陥検出と、フォトルミネセンス（PL）による結晶欠陥検出を組み合わせた自動検査装置です。SiCウェーハの高精度検査に加え、モデルによってはGaNウェーハの結晶欠陥検査にも対応可能です。欠陥の自動分類により検査精度・再現性・スループットを向上させ、製造工程での品質管理に大きく貢献します。
【新規商材★実機展示有】既存装置をオンライン化する「EIGEMBox」einnosys社
EIGEMBoxは、既存設備にSECS/GEM、OPC、Modbusなどの通信機能を追加できる装置です。設備側にソフトウェアやハードの改造を行う必要はなく、ディスプレイやUSBケーブルで接続するだけで利用可能です。データ収集やレシピのダウンロード、リモート操作を可能にし、歩留まり改善やコスト削減に貢献します。古い装置のスマート化やスマートファクトリー化を実現するソリューションです。
【新規商材★実機展示有】ポンプの予知保全システム「XPump」einnosys社
XPumpは、AIと機械学習を活用してポンプやブロワーなどモーターベース機器をリアルタイム監視するシステムです。振動や温度、電圧などを常時測定し、故障の数週間前に早期警告を行います。既存の工場システムと統合でき、メールやSMS通知にも対応。導入によりダウンタイム削減、メンテナンスコスト低減、設備稼働率の向上を実現します。真空ポンプや排ガス処理装置など幅広い応用が可能です。