前工程から後工程まで、 最先端プロセスを支える搬送システムソリューション
今回、後工程の自動化に向け期待が高まる「Panel FOUP ロードポート」をはじめ、「Tape Frame FOUPロードポート」は3機種のラインナップを揃え展示いたします。
前工程向けでは「EFEM」を中心に、「300/200mm自動切換え機能搭載 ロードポート」や、「SMIF ロードポート」「N2パージ 300mm FOUP対応 ロードポート」、
更には「真空搬送ロボット」のデモンストレーションなど、幅広いラインナップをご覧いただけます。
また、映像紹介として、高効率な環境コントロールを可能にした「N₂ EFEM」をCG動画と、拡張が進んだ豊橋工場、タイ工場をドローン映像でご紹介いたします。
展示製品
前工程製品
・EFEM（3ポート）
・SMIF ロードポート
・300/200mm自動切換え機能搭載ロードポート SELOP-8.1
・N2パージ 300mm FOUP対応 ロードポート
・真空搬送ロボット
後工程製品
・Tape Frame FOUP対応 ロードポート（SEMI E63、E184、Taiwan & Koreaモデル）
・Tape Frame アライナ（参考出展）
・Panel FOUP対応 ロードポート
・Panel AMRシステム（参考出展）
その他
・ダイレクトドライブモータ
映像
・N2 EFEM
・拡張工場のご紹介