世界初の技術商材や半導体製造用装置向けの機器を取り揃えて展示しています。是非、ご見学ください。
出展製品のご紹介
①CASTEC International Corp.（台湾）
知能を備えたWaferキャリア・Pod運搬が可能な搬送ロボット「i-Operator®」のデモンストレーションを行います。AMRは業界最小サイズを実現しており、前工程・後工程や搬送物の形状を問わず搬送が可能です。海外大手半導体メーカーのクリーンルーム内での導入実績が多数あります。
②Nexensor Inc.（韓国）
世界初Deflectometry技術を用いたウエハの反りを三次元で測定が可能な測定器「nXF-3®」を展示します。ウエハ表面の状態を問わず、全面を1回のスキャンで瞬時に計測が可能です。本年新規開発が完了した縦型測定機のプロモーションも行います。Waferをお持ちいただければその場での計測も可能です。
③SoLARIS Co.,LTD（日本）
中央大発ベンチャー企業。世界初のミミズ型管内走行ロボット「Sooha®」のデモンストレーションを行います。配管内の検査・清掃のプラットフォームとして様々な課題解決に貢献します。本年製品版や周辺オプション機器が正式にリリースされました。完成度の高い本品を是非ご覧ください。
④Advanced Energy Co.,Ltd.（米国）
高周波RFの補正と診断を可能とする診断カート「OMNI™」を展示します。カート1台で複数の異なる周波数を正確に計測可能です。またOMNI機器内に「PowerInsight®」も実装されておりログによる解析やデータのアウトプット、予防保全に役立てることで装置のダウンタイムの低減によるコストダウンにも寄与します。
⑤Nordson (米国)
装置内部の加工点や搬送経路をWafer同一形状、無線方式にて装置内の各種状況をリアルタイムに可視化できる革新的なツール「Wafer Sense」を展示します。
⑥CMTX Co.,Ltd.
半導体製造設備用リング系パーツを多数取り扱っています。素材はセラミック、石英、サファイアも可能です。Siはインゴット素材から加工までを自社で一貫して製作できることが強みです。