当社は一般産業機械から最先端の精密機械、さらに建設機械、船舶、環境・プラント機器までをカバーする総合機械メーカーです。
本展示会ではクライオポンプ、精密位置決めステージ、酸素負イオン照射装置(Reactive Nion©)、MCZ用超電導マグネット、反応性プラズマ成膜装置RPD(Reactive Plasma Deposition)を出展します。
良質なシリコン単結晶引き上げには、磁場制動による熱対流防止が必要です。住友重機械工業のMCZ用超電導マグネットは、磁場を印加し熱対流による坩堝の損傷、坩堝からの酸素混入、欠陥を防ぎます。