ダイキン工業

大阪市,  大阪府 
Japan
https://www.daikinchemicals.com/jp.html
  • 小間番号S2204

ダイキン工業・ダイキンファインテックの2社で共同出展し、最先端の半導体産業に貢献する材料やソリューションを一堂に展示いたします。
是非この機会にブースにお越しいただき、ダイキングループの取り組みやビジョンについてご理解いただければ幸いです。
みなさまのご来場を心よりお待ちしております。


 出展製品

  • 半導体・MEMS洗浄装置「X-FORM」
    「X-FORM(クロスフォーム)」は、200mmと300mmサイズのウェハに対応した枚葉式・バッチ式併用型ハイブリッド洗浄装置です。モジュールコンセプトに基づき、プロセスと処理量に合わせた最適な仕様に自在に拡張可能。多様な洗浄ニーズに応え、高い処理品質と生産効率を実現します。...

    1. ハイブリッド構造と拡張性
      ​・ハイブリッド洗浄 : バッチ式処理が併用可能な枚葉式洗浄装置です 。より高い処理品質と生産効率を実現します 。
      ・モジュールコンセプト : 標準化したモジュールを組み合わせる設計 。プロセスや薬液の変更に対応し、最適な仕様に自在に変えられます 。
      ・生産量対応 : 1階層から2階層組立が可能 。研究開発から大量生産まで、処理量に合わせた組み合わせで対応します 。
    2. 強力な洗浄メカニズム
      ・バッチ式(20枚同時処理):
       ・特徴 : 垂直揺動、超音波、ダウンフローの組み合わせにより 、均等な処理と再付着防止を実現します 。
      ・枚葉式(浸漬洗浄):
       ・特徴 : ホーン式超音波から二流体スプレー、高圧スプレーまで、強力な剥離から繊細な洗浄まで幅広く対応します 。
    3. 主な対応処理
      ・レジスト剥離処理 : フォトレジスト、イオン注入後フォトレジスト、厚膜レジスト、メタル膜付きレジスト、ドライフィルムレジストなど 。
  • ダイキンファインテック 3製品総合紹介:半導体製造を支える高機能フッ素化学ソリューション
    ダイキンファインテックは、シール材、導電材料、コーティング材の3つのフッ素化学ソリューションを提供し、半導体プロセスの課題を解決します 。DUPRA(FFKMシール材)は超クリーン・超耐熱性で異物混入を防ぎ 、TRCシリーズ(導電性樹脂)は高いクリーン性と帯電除去を両立 、ULSHEED(コーティング)は高い耐久性とメタル汚染抑制で部材寿命を延ばします 。...

    1. パーフルオロエラストマー DUPRA:超クリーンシール材
      過酷な熱、プラズマプロセス向けのFFKMシール材です。
      ・超クリーンコンセプト : 原料生産から梱包まで一貫してクリーンルーム内でおこない、総金属含有量を10ppm以下に抑えた製品を提供します。
      ・用途 : 半導体製造装置のパッキン、ガスケット、Oリングなどに使用され、異物混入リスクを最小化します。
      ・ラインナップ : 耐熱性(295~300℃目安)やプラズマ耐性を特徴とする製品群で、各種プロセスに対応します。
    2. 導電性フッ素樹脂 TRCシリーズ:帯電除去とクリーン性の両立
      フッ素樹脂にCNT(カーボンナノチューブ)を独自コンパウンドしたオリジナル複合材料です。
      ・導電性/帯電除去 : 少量のCNT添加で10^1~10^4Ω・cmの体積抵抗率を実現。ノズルや配管に組み込み、液送中の流動帯電を大幅に抑制・除去し、安全と品質向上に貢献します。
      ・高クリーン性 : 金属系17元素の溶出量は0.1ppb以下であり、高いクリーン性を維持しています。
      ・溶接強度 : TRC-Mシリーズは、導電性を有しながら未添加樹脂と同等の溶接強度(12MPa)を保持します。
    3. フッ素樹脂コーティング ULSHEED:高耐久・低汚染コーティング
      薬液に対し高い耐食性とクリーン性が求められる金属、石英等の部材向けのPCTFEコーティングです。
      ・高い耐久性 : 他のフッ素コーティングと比較して2~10倍以上の高い耐久性を実現します。
      ・メタル汚染抑制 : 金属系3元素の溶出量が0.1ppb以下と非常に低く、メタル汚染抑制に貢献します。
      ・実績 : 300mm洗浄装置のウェハ搬送リフターへの適用実績は1,000件以上。母材を再利用できるリコーティングも可能です。
  • 半導体市場向けフッ素材料
    半導体製造装置や薬液供給設備用に用いられるフッ素樹脂および日本生産品でユーザーの安定生産と地政学的リスクの低減に貢献する高純度ドライエッチング用ガス...

  • 半導体市場向けフッ素樹脂とドライエッチング用ガスの2つをご紹介します。ダイキン工業の半導体市場向けフッ素樹脂は耐薬品性に優れ、高純度薬液を汚染しないクリーンな材料として半導体製造装置や薬液供給設備のチューブや継手、バルブ、ポンプなど多くの部品の材料として使用されています。
    ドライエッチング用ガスは日本で生産する世界トップレベルの高純度品の供給により、お客様の安定生産と地政学的リスクの低減に貢献しています。また、ガスのみならずレシピもあわせてご提案するデジタルツインの取り組みについてもご紹介します。
  • フッ素樹脂粉体塗料
    少量の導電材複合で安定した帯電防止性能を発現する導電性フッ素樹脂粉体塗料および高電圧が印加される環境に好適なバスバー用フッ素樹脂粉体塗料...

  • 導電性塗料とバスバー用塗料の2つをご紹介します。導電性塗料はダイキン工業独自の方法により、各フッ素樹脂と導電材料を複合させた粉体塗料です。極少量(1wt%未満)の導電材料の添加によりフッ素需の機能を損なうことなく安定した導電性を付与。帯電によるパーティクル付着や回路破壊、爆発・火災のリスクを低減させます。
    バスバー用フッ素樹脂塗料は高い絶縁性と耐熱性を有し、また薄膜で形成できることで放熱性にも優れることから、プラズマエッチング装置などの高電圧が印加される装置への使用に最適な塗料です。
  • フッ素系液体DAISAVE
    低温領域における低粘度を実現し省エネに貢献するチラー用クーラントおよび誘電率が低くサーバーの液浸冷却に最適なデータセンター向けクーラント...

  • フッ素系液体DAISAVEシリーズはダイキン工業が開発した低GWP液体です。熱的・化学的安定性に優れ、オゾン破壊係数ゼロ、洗浄性能に求められる低い表面張力、
    低粘度、適度な溶解性、速乾性を兼ね備えた製品です。洗浄用途、溶媒用途、溶剤用途など幅広い用途に対応しておりますが、今回は特にチラー用クーラント、データセンター向け液浸冷却用途を主にご紹介します。