半導体市場向けフッ素樹脂とドライエッチング用ガスの2つをご紹介します。ダイキン工業の半導体市場向けフッ素樹脂は耐薬品性に優れ、高純度薬液を汚染しないクリーンな材料として半導体製造装置や薬液供給設備のチューブや継手、バルブ、ポンプなど多くの部品の材料として使用されています。
ドライエッチング用ガスは日本で生産する世界トップレベルの高純度品の供給により、お客様の安定生産と地政学的リスクの低減に貢献しています。また、ガスのみならずレシピもあわせてご提案するデジタルツインの取り組みについてもご紹介します。