竹中電子工業

カセット内のウエハを一括検出。タクトタイムの短縮により、生産性向上に貢献

6・8・12インチのウエハに対応

SiウエハとSiCウエハの判別が可能（8インチのみ）

取付場所を選ばないシート形状

ワークの色・材質・形状の影響を受けない接触式

外乱光や他のセンサの影響を受けずに安定検出

豊富な商品ラインナップにより、最適な防爆ソリューションを提供します。

・使いやすさを追求したスタンダードタイプ（XNE2-Aシリーズ）

・検出状況の『見える化』が可能なファイバアンプ（XF12R-Aシリーズ）

・ワークの色や背景の影響を受けにくい距離距離設定反射形（XDLNシリーズ）

・ダイカストケースとガラスレンズを採用した堅牢形（XGM2-Aシリーズ）

・投受光器一体形のコの字形（XAS2-Aシリーズ）

・防爆センサで最小サイズの（XI2シリーズ）

・測距アプリケーションに最適な超音波センサ（XUS-S3T）

・バリヤリレーは最大6台のセンサと接続が可能（TBDシリーズ）

分光センシングで官能検査を自動化

・光をR/G/Bに分光して色比率判別（CS-R85）

・微細な色調や光量を高精度に判別（CST-R85）

・さまざまな光源の点灯に対応（BS-R80）

包材の色に影響されずに安定検出を実現

コントローラ不要のアンプ内蔵形

簡単操作で高精度な測定を実現（USA-S1AN）

調整不要のコの字形（US-U30AN）