特長1:設計から試作、評価、分析までの一貫した装置群を保有
・設計から評価まで一貫した半導体開発(CMOS, MEMS, センサーなど)が可能な、国内の大学でも稀有な施設です
・設計データの作成を行うシステムから、マスク作成、ウエハープロセス(前工程)、チップ組み立て(後工程)を行う製造装置、各種評価装置やLSIテスターまで所有しております
・保有装置数は100台を超えます
・フォト室はClass 100、プロセス室はClass 1,000のクリーン度です
特長2:ご自身での装置利用と、代理試作が可能
・装置ご利用までの打合せや初回利用のオペトレなどスタッフが丁寧に対応します
・CR内へのPC持ち込み可。また、ウエハやターゲットなどの持ち込みについて比較的柔軟に対応します
・ご利用内容の報告義務はございません
・専任のスタッフによる代理試作も可能で、納期が早いと好評価をいただいたおります
・大学や高専などの教育機関、公的機関、企業様など広くご利用いただいております