MEMS∞は、初期開発から量産までのあらゆる段階で、お客様のMEMSデバイス事業化を力強く支援いたします。
MEMS∞は、デバイス設計からファンドリ開発、量産まで、MEMSのあらゆる工程をカバーする開発・製品化技術を有しています。これにより、お客様はプロジェクトを効率的に推進し、ワンストップでの製造を実現できることが、私たちの最大の特徴です。
世界各地での開発実績と高い専門性を活かし、初期開発段階から最終量産まで、お客様のMEMSデバイス事業化を力強く支援いたします。
- MEMSデバイスの設計、開発、試作、量産を検討されているお客様に最適なソリューションをご提案します。
- 量産実績を有するジャイロスコープ向けPZT薄膜プロセスをベースに、成膜からデバイス加工までお客様のニーズに応じたサービスを提供します。
- 住友精密グループのSPPテクノロジーズ製「Predeus」を用い、垂直性・低側壁粗さ・CDロスを維持しながら、世界最高水準の高選択比・高エッチレート加工を実現。難易度の高いMEMS加工にも対応します。