未来は光でおもしろくなる
ウシオは、半導体製造プロセスのイノベーションに「光」で貢献いたします。
昨年に続き今年も、グループ会社であるアドテックエンジニアリングと共同出展し、両社のパッケージ向け露光装置をご紹介するほか、ウシオグループとしての次世代半導体パッケージ(生成AI)とウシオの製品ラインナップについてもご紹介いたします。
■出展内容
１．投影露光装置「UX-4」,「UX-5」（ウシオ電機）
２．直描式露光装置(DI)「IP-NX7000」(アドテックエンジニアリング)
３．半導体後工程向け露光装置「DE-2」,「DE-8」(アドテックエンジニアリング)
４．ハロゲンヒーター（ウシオ電機）
５．エキシマ装置（ウシオ電機）
６．干渉露光装置（ウシオ電機）