テクノスは真空排気ラインの粉体対策ツールの総合メーカーです。
◦排気配管の粉体閉塞を防ぐ
・粉体トラップフィルター ……… 排気管に設置して粉体を補足する。
・パウダーキラー ……… 超音波振動により粉体堆積を防ぐ。
・ダクトクリーナー ……… 除害装置～集合配管間の粉体堆積を防ぐ。
◦ドライポンプの粉体トラブルを防ぐ
・ポンプクリーナー ……… ドライポンプの直上から高温N2ガスを投入、ドライポンプ内部をクリーニングして再起動不良などを防ぐ。
・ポンプセーバー ……… エゼクター機能を利用してドライポンプ内部の粉体を吸引・排気する。
パウダーキラーの超音波振動子はクランプ形状なので複数の排気配管を持ち回りでクリーニングします。 半導体製造装置を稼働中・真空状態でもクリーニング可能です。
真空排気配管を分解しないで粉体クリーニングします。
ドライポンプの再起動不良防止と予防保全に利用します。
ドライポンプを停止する数時間前に高温N2を投入することで
粉体固着したポンプ内部をクリーニングして再起動させます。