本年は「原子レベルシミュレーションで拓く次世代ULSI配線プロセス」のタイトルにて研究成果を展示をします。
原子層堆積（ALD）や原子層エッチング（ALE）といった原子層プロセス（ALP）の開発において，密度汎関数法（DFT）の知見を学習させたニューラルネットワークポテンシャルを活用し，従来の実験依存のブラックボックス的なプロセス開発から脱却して，原子レベルで表面素過程を高精度かつ高速に解析します。シミュレーション駆動型の合理的アプローチにより，革新的な次世代半導体配線プロセスの創出を目指します。