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日本レーザー

新宿区,  東京都 
Japan
https://www.japanlaser.co.jp
  • 小間番号W2538


レーザー光と光学を応用した新しい検査/解析技術の他、装置や設備に組み込み可能な測定、計測技術を紹介致します。

PiFM方式の採用により、従来のAFM-IRの欠点を克服した最も先進的な以下の装置を出展いたします。
Exhibitor's TechSPOTでは本製品の詳細・応用例をご紹介いたします。

  • Molecular Vista社 ナノスケール赤外分析装置    

その他、以下の製品も併せて紹介致します。

《半導体材料向け》

  • SENSOFAR Metrology社 装置組込み用非接触面粗さ計 S mart sensor
  • LIG Nanowise社 超解像光学顕微鏡
  • FSM Precision社 最大12インチ LS-AFM
  • CSInstruments社 ハイエンド リーズナブル AFM
  • Onto Innovation社 基板用高速レーザー欠陥スキャナー

《半導体製造装置向け》

  • Skylark Lasers社 320nm & 349nm 単一周波数 CW DPSSレーザー 320 NX / 349 NX
  • Moxtek社 ワイヤーグリッド偏光子/Metaレンズ
  • attocube systems社 変位センサ/ナノポジショナー
  • Fringe Metrology社 オートコリメータ

《半導体デバイス向け》

  • Nanoscribe社 3D光造形装置
  • エンジニアリング・ラボ社 高精細ディスペンサー


 出展製品

  • 12インチ 300 mm サンプル対応 AFM-IR装置 Vista300
    12インチ(300×300mm)までのサンプルに対応のAFMです。ナノ加工における研究開発や故障解析に最適な測定装置。業界最先端の自動化を実現しました。...

    • 12インチ(300 mm × 300 mm)サンプルに対応 — ウエハや大きめサンプルをそのまま測定可能。

    • Photo‑induced Force Microscopy (PiFM)/PiF‑IR によるペアの赤外分光+AFMイメージングで、化学的成分ごとの「化学マップ」と「スペクトル」を自動で生成。

    • 自動アライメント機能つき — 励起レーザーの調整をコンピュータ画面で自動化し、操作の習熟や手間を省き、結果の再現性を確保。

    • コンパクトな設置面積 — レーザーを本体下に収める設計により、広大なスペースを必要とせず、狭い実験室やクリーンルームにも導入しやすい。

    • 温度・騒音管理された筐体で冷却/防音対応 — アクセスドア設計と遮音・断熱構造により、熱ドリフトを抑えつつクリーン環境下での測定を実現。

  • 装置組込み用非接触面粗さ計 S mart sensor
    S mart Sensor は、非接触で3D表面形状や粗さを高精度に測定できるコンパクトなセンサーユニットです。白色干渉計と共焦点技術を組み合わせ、高い精度と再現性を実現します。装置への組み込みも簡単で、イーサネット接続だけで自動測定が可能です。...

    • 白色干渉計+エリア共焦点(コンフォーカル)技術による3D表面形状/粗さの非接触測定が可能 — 3Dレーザー顕微鏡に匹敵する分解能と精度、再現性を確保。

    • ヘッド内に演算処理を含むすべての電子機器を内蔵 — 接続は「イーサネットケーブル+電源」のみで、装置組込みが非常に簡単。

    • 幅90 mm の狭幅コンパクト設計 — 設置スペースを抑え、製造ラインや既存設備にも導入しやすい。

    • 自動 3D 測定機能付き — 焦点合わせ後はワンクリックまたは外部指令で自動測定、照明・焦点・Zレンジを最適化して安定出力。

    • 複数の測定方式(共焦点、白色干渉、Ai焦点移動)を1台に統合した“3‑in‑1”構成 — 様々な材料・表面状態に柔軟に対応。

  • 単一周波数 CW DPSS レーザー
    Skylark NX シリーズは、紫外から近赤外にわたる波長帯で、極めて安定した単一周波数の連続波レーザー光を供給するコンパクトな光源です。狭い線幅、低ノイズ、高ビーム品質により、ラマン分光、干渉リソグラフィー、半導体検査、フォトルミネセンスなど、高精度・高信頼性が求められる研究・産業用途に最適です。モノリシック設計+密閉シールドパッケージにより、長期安定性と耐久性を兼ね備え、装置組込みや量産設備への導入にも容易です。...

    • 非常に狭い線幅(≤ 500 kHz)と高スペクトル純度 — 単一周波数 CW 出力で、高分解能・高再現性の測定や加工に適応。

    • 超低ノイズ(出力ノイズ ≤ 0.3 % RMS)かつ高出力安定性(8時間で出力変動 < 2%) — ノイズやドリフトを抑えて、信号対雑音比(S/N)が重要なアプリケーションに最適。J

    • 高品質ビーム (TEM₀₀、M² < 1.2) とコヒーレンス長 > 100 m — 回折限界ビーム品質により、光学顕微鏡、干渉計、リソグラフィーなど高精度光学用途で安定した性能を発揮。 Japan Laser+2Skylark Lasers+2

    • コンパクトかつ堅牢なモノリシック設計 — 密閉シールドパッケージにより、振動や衝撃に強く、フィールド用途や装置組込みにも対応可能。

    • 広い用途への対応力 — ラマン分光、蛍光/フォトルミネセンス、干渉リソグラフィー、半導体ウェハ検査、量子技術応用など、研究開発から量産支援まで多岐にわたる用途に適合。

  • ローコスト高イメージング品質 AFM Nanoview 1000 AFM
    NanoView 1000 AFM は、従来の原子間力顕微鏡に比べ価格を抑えつつ、高いイメージング品質を維持するコストパフォーマンス重視のAFM装置です。トポグラフィ、位相や電気/磁気力像など、多彩なモードで微細構造や材料表面の観察が可能です。コンパクトかつ簡便な操作性を備え、研究用から品質管理用途まで幅広く対応します。 ...

    • 従来のAFMの半額以下の価格帯ながら、高分解能でのイメージング品質を実現。

    • 表面形状(トポグラフィ)のほか、位相像、摩擦力(LFM)、磁気力(MFM)、電気力(EFM) など多様な走査モードに対応(モードはオプション含む)。

    • XY 分解能 0.2 nm、Z 分解能 0.05 nm の高精度走査により、ナノスケールの凹凸・微細パターン観察が可能。

    • ばね吊り下げ式の振動低減設計により低ノイズを実現。安定した走査によって信頼性の高いデータ取得が可能。

    • サンプルへのオートアプローチ機能モジュール設計 によるプローブ交換・メンテナンスの容易さ。初心者でも扱いやすく、運用コストを抑えやすい。

  • マイクロスフィア式 超解像光学顕微鏡
    NANORO M は、回折限界を超える ≦ 100 nm の空間分解能で、ナノスケール構造を非破壊かつフルカラーで観察できる超解像光学顕微鏡です。従来の光学顕微鏡と同様の白色光/可視光光学系をベースとしながら、微小球(ミクロスフィア)レンズ技術によりナノ領域の詳細を捉えます。半導体研究・先端材料評価・微細構造の可視化など、SEM や AFM の代替/補完として幅広く活用可能です。...

    • ≦ 100 nm 分解能 — ミクロスフィア増幅レンズ(SMAL)を用いることで、通常の光学顕微鏡の回折限界を超えたナノスケールの観察が可能。

    • 非破壊・フルカラ—光学式観察 — 白色光顕微鏡と同様の操作感覚で、前処理不要・サンプルを傷つけずに繰り返し観察可能。

    • 広範囲スキャン & 画像スティッチ — 高精度ステージとソフトウェアにより、広エリアの観察と高解像度画像のタイル連結が可能。大面積ウェハや材料表面の総覧に有効。

    • 多様な対物レンズに対応 — 通常の対物レンズ(10×, 40×, 100×)から超解像 SMAL レンズまで、用途や観察目的に応じて柔軟に選択可能。

    • 簡便な設置/運用性 — 標準的な光学テーブル上で使用可能で、クリーンルーム・真空・特殊環境は不要。既存設備への導入も容易。