半導体製造装置、チヤンバー内のプラズマ分析なら当社へご相談ください。
イオンエネルギーアナライザー付質量分析計で分析可能。
HIDEN ANALYTICAL社製品：
・大気圧サンプリングガス分析装置
モデルQGA 2.0
モデルHPR-20
・大気圧プラズマ分析装置
モデルHPR-60
・二次イオン質量分析計
モデルSIMS Workstation
モデルAutoSIMS
モデルCompactSIMS
・プラズマイオンエネルギーアナライザ付質量分析計
モデルEQPシリーズ
・SIMS式エンドポイントモニター
モデルIMP-EPD
・UHV自動昇温脱離ガス分析装置
モデルTPD Workstation
・ラングミュアプローブ
モデルESPION
・液中溶存ガス分析計
モデルHPR-40 DEMS
HIDEN ANALYTICAL社製品だけでなく、国内仕入部材の販売も行っております。
Henniker Plasma製品を販売開始いたしました。
プラズマ表面改質装置で、材料への濡れ性・吸着性を良くしたいプロセスがございましたら、ぜひご相談ください。