【製品ラインナップ】
エネサーモ®PH TOMBO™No. 4500-PH
プレノ®ヒータA TOMBO™No. 4500-PH-PA
プレノ®ヒータB-UL TOMBO™No. 4500-PH-PB-UL
プレノ®テープ TOMBO™No. 4500-PH-PT
【特徴】
着脱自在です。
低発塵性、低アウトガスです。
最高使用温度250℃(さらに高温仕様ヒータも設計可能です。)
プレノヒータB-ULはUL認証を取得した製品です。
プレノヒータAやプレノテープ、保温材など、複数の製品でFM認証(FM4624)を取得しています。
プレノテープは柔軟性のあるテープ状ヒータであり、エルボやチーズなどを含む細径配管への施工加熱に適しています。
【用途】
半導体・液晶装置関連の機器・配管類の加熱
・CVD、ドライエッチング装置の排気配管のデポジット防止
・CVD、ドライエッチング装置の供給配管の液化防止
・ドライポンプ、除害装置の配管の加熱