量産実績No.1！SiC向け高温中電流イオン注入装置 高精細FPD製造用イオン注入装置はW/WでシェアNo.1
日新イオン機器の中電流イオン注入装置は、その信頼性と安定性でお客様から広くご支持を頂いている
EXCEEDシリーズをベースにパワーデバイス向け装置をご提供させて頂いています。
◇SiC量産用高温イオン注入装置”IMPHEAT-II”
◇レーザー、パワーデバイス向け水素注入装置”EXCEED400HY"
また、フラットパネルディスプレイ向け装置のシートビーム技術を応用し、
300㎜ウェハ向けに従来用途と異なる材料改質向けに
低エネルギー超高ドーズ用途の半導体材料改質装置"KYOKA"を開発いたしました。
充分なフィールド経験を元に、お客様のニーズに合わせ最適なご提案をさせていただきます。
また弊社では注入サービスも提供しておりますので、ぜひブースへお立ち寄りいただき
皆様のご要望をお聞かせください。