BUSCH KOREA

Kyunggi-do, 
Korea (South)
http://www.buschkorea.co.kr
  • Booth: 4524


Be welcome and visit us at our booth: Convention Hall #4524.

 Busch Korea Ltd is foreign invested enterprise founded as a sales agent by Busch in Germany which is largest manufacturer of vacuum pumps and system in the world. We constantly evaluate our activities to maintain the highest standards as a vacuum pump and system expert since our foundation in 1986. Our products range comprises solutions for vacuum and over pressure technology in all industry sectors and we are available with a variety of options and advanced design features to match a diverse range of applications, so our customers benefit from the most appropriate and cost-effective solutions. We include many service technicians and engineers offering seamless service. They can provide sound advice and practical support to our customers on-site. Our manufacturing sites use the latest techniques, machinery and equipment. Our quality management procedures surpass DIN EN ISO 9001 requirements and offer all necessary certifications to meet the specific requirements of our clients.


 Products

  • Premium Efficiency from Busch
    In response to demand for maximum energy efficiency, we are Introducing a new solutions. The premium Efficiency class brings together leading technologies with operational features that set new standards in energy and lifecycle efficiency. ...

  • The New Class of Efficiency for Vacuum Pumps

    Premium Efficiency Advantages: 

    -Save up to 40% on electrical energy usage

    -Best-in class energy efficiency based on intergrated technology platforms

    -High reliability and reduces maintenance - backed by Busch Service

    -Reduced total lifecycle cost

    -Environmental sustainability through a reduces energy footprint

    COBRA BC Premium Efficiency Series 

    Our first product release in Premium Efficiency class.

    The new COBRA BC series provise energy savings in all operating conditions:

    full speed, variable speed and standby. 

    Find out more about the advantages of our Premium Efficiency class vacuum pumps and systems at www.premium-efficiency.com. 

    Applications: 

    -Loadlock

    -Transfer

    -Metrology

    -Lithography

    -PVD Process

    -PVD Pre-Clean

    Model(Range, 100 - 2000 m3/h) :

    COBRA BC 0100 F

    COBRA BC 0600 F

    COBRA BC 1000 F

    COBRA BC 2000F

  • COBRA DS Series
    반도체, LCD, Solar용, Dry screw pump ...

  • DS0600E,DS3010E,DS8161E,DS8162E,DS8363A

    한차원 발전된 대용량 가혹 공정용 DS 건식 스크류 진공펌프는 태양광, 평판패널 및 반도체 분야에서 요구 되는 최첨단, 가장 가혹한 공정용 대용량 로드락 솔루션을 제공합니다. 탁월한 수소 배출 능력과, Busch 고유의 스크류 펌프 설계에서 비롯된 뛰어난 파우더 처리 능력과 함께 동급 최고의 펌핑 용량을 보유하고 있습니다. 아울러, 고효율 모터와 최신 대기모드 탑재로 에너지 절감능력이 뛰어난 제품입니다. 최적화된 공간 절약 설계 및 에너지 절감 능력으로 인해, COBRA DS 시리즈 진공펌프는 운영 비용이 저렴합니다.

    응용분야-

    -High-density-plasmaCVD(HDP-CVD)(고밀도플라즈마화학증착공정)

    -Rapidthermalprocessing(RTP)(급속열처리공정)

    -Sub-atmospheric-CVD(SACVD)(부기압화학증착공정)

    -Metal-organic-CVD(MOCVD)(유기금속화학증착공정)

    -Plasma-Enganced-CVD(PECVD)(플라즈마화학증착공정)

    -Low-pressure-CVD(LPCVD)(저압화학증착공정)

    -Atomic-layer-deposition(ALD)(원자층증착공정)

    -Highcapacityloadlock(대용량로드락)

  • COBRA BC Series
    반도체, LCD, Solar용, Dry screw pump ...

  • BC 1000 / 2000 F

    COBRA BC 1000 F 및 BC 2000 F는 태양광 전지, 평판 스크린 및 반도체 생산과 제반 공정에서 고속 및 탁월한 수소배출 능력이 요구되는 모든 진공 장비에 이상적 입니다. COBRA BC 진공 펌프는 oil-free 비접촉 방식으로 파우더와 particle 배출이 용이합니다. COBRA BC 1000 F 및 BC 2000 F Busch 부스터 펌프를 장착하여 우수한 펌핑 속도 및 최대 진공도를 제공 합니다. Backing 펌프와 부스터 펌프는 컴팩트한 프레인으로 연결되어 있습니다. COBRA BC 1000 F 및 BC 2000 F는 고호율 모터와 대기모드가 장착돼있어 에너지 절감이 뛰어납니다. 매우 작은 공간 및 에너지를 사용하여 최소한의 비용으로 운영할 수 있습니다. COBRA BC 진공 펌프는 사용 수명이 길어 운영 비용이 절감 됩니다. 기존 시스템에 스크류 진공 펌프를 간단하게 장착할 수 있습니다. 

    응용분야

    -High-density-plasmaCVD(HDP-CVD)(고밀도플라즈마화학증착공정)

    -Rapidthermalprocessing(RTP)(급속열처리공정)

    -Sub-atmospheric-CVD(SACVD)(부기압화학증착공정)

    -Metal-organic-CVD(MOCVD)(유기금속화학증착공정)

    -Plasma-Enganced-CVD(PECVD)(플라즈마화학증착공정)

    -Low-pressure-CVD(LPCVD)(저압화학증착공정)

    -Atomic-layer-deposition(ALD)(원자층증착공정)

    -Highcapacityloadlock(대용량로드락)