Lintec Korea

Seongnam-si,  Gyeonggi-do 
Korea (South)
http://www.lintec-mfc.co.jp
  • Booth: A824


Lintec will provide the smartest life with better products.

LINTEC has been producing the best products in the field of gas and liquid control for the past 30 years. The world's first digital type MFC was produced and applied to semiconductor and display equipment. In the liquid solution field, LINTEC has more than 20 different vaporizers, LMFC and LMFM. End-users in Semiconductor and Solar production field can be applied to high-K, low-K and plasma deposition by using the liquid solutions. It is making two or three new products every year and is currently used in CVD and ALD equipment used in the Thin Film process. Heat Exchanger, Heating Filter, and Control Valve are also used in various Liquid Vapourizing systems. LINTEC promises to provide the best gas, liquid control solution.


 Press Releases

  • 린텍코리아는 1월 31일(수)부터 3월 2일(금)까지 코엑스에서 개최되는 ‘세미콘 코리아 2018’에 참가해 Coriolis식 질량 유량 센서 채용한 매스 플로 컨트롤러를 소개했다. 

    린텍의 매스 플로 컨트롤러에 채용된 Coriolis의 원리는 진동하고 있는 U자 형태의 튜브 내를 유체가 통과하면 튜브의 움직임에 저항력이 발생하고, 이 힘은 질량 유량에 비례한 비틀림을 시킨다. 이 비틀림을 센서에 의해 검출하여 질량 유량을 계측한다

    린텍의 매스 플로 컨트롤러 ‘LC-4000 시리즈’는 Coriolis식 질량 유량 센서를 채용하여 액체 종류에 의한 유량 교정이 불필요한 것이 특징이며 기화기 VU 시리즈와 함께 사용하여 액체기화 공급기로 사용이 가능하다. 부식성, 실링성이 우수한 메탈 실 또는 엘라스토머 실을 채용함으로써 메인티넌스성도 향상됐다. 또한 금속 케이스와 각종 필터의 채용으로 고주파 노이즈와 직류자계가 있는 환경에서도 안정된 동작이 가능하다. 바이패스 구조로 액체 도입과 내부 퍼지가 용이하다. 

    한편 ‘세미콘 코리아 2018’은 한국 반도체 산업의 지속적인 성장에 힘입어 국내 최대 규모로 진행된다. 4만 명 이상의 반도체 전문 엔지니어와 국내외 반도체 리더들이 한 자리에 모이는 반도체 산업 글로벌 축제 ‘세미콘 코리아’는 산업 발전의 촉매제 역할뿐 아니라 비즈니스의 실질적인 장으로 자리잡고 있다.

    /김혜숙 기자(eltred@hellot.net)

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  • MFC, 열교환기도 집중 홍보
    [세미콘코리아 2019 전시참가 기업]

    린텍코리아 VU-900 베이퍼라이저

    린텍코리아(LINTEC KOREA)는 세미콘 코리아 2019에서 주력 제품인 VU-900 시리즈 베이퍼라이저(Vaporizer) 제품을 집중적으로 알릴 계획이다.

    베이퍼라이저는 단어 뜻 그대로 ‘기화기’를 의미한다. 반도체 디퓨전(Diffusion) 공정에서 액체 프리커서(Liquid Precursor)를 직접 기화시켜 가스로 만들고, 화학기상증착(CVD) 장비 진공 챔버로 공급하는 용도로 사용된다. 이를 통해 유전막을 생성할 수 있다.

    D램은 셀 커패시터 전하 저장 유무에 따라 0과 1을 구분한다. 커패시터를 만들 때는 전하가 너무 빠르게 새는 것을 막거나 주변 커패시터와 간섭을 없애기 위해 유전막을 형성한다. 유전막은 전기선 플라스틱 피복선 같은 절연막 역할을 한다. D램 선폭이 좁아질수록 보다 양질의 유전막이 필요하다.

    유전막의 균일성을 유지하는 것이 D램 제조 핵심이다. 같은 조건에서 20나노 커패시터를 만들 경우 분자구조로는 더 작아진 트랜지스터에 균일한 유전막을 만들기가 매우 어렵다. 미세화가 이뤄질수록 유전막을 얼마나 얇고 촘촘하게 만들 수 있는지가 성공의 관건이다.

    장비 제조사들은 프리커서를 기화시킬 때 응답 시간 단축, 박막의 일정한 도포, 기화량 증가 등을 요구하고 있다. 린텍의 VU-900 시리즈 베이퍼라이저는 이러한 고객사 요구에 특화된 제품이다. 이미 지르코늄(Zr) 유전막 양산 공정에서 활용되고 있다.

    전성길 린텍코리아 대표는 “VU-900은 기화된 가스의 열변형, 미스트(Mist) 등이 가장 적어서 균일한 유전막 생성에 최적화된 제품으로 평가받고 있다”면서 “기화량을 최대화해 효율을 높였고 국내에서 개조 작업 등이 가능해 고객사도 유지보수 비용을 절감했다”고 설명했다.

    린텍코리아는 베이퍼라이저 외 질량유량제어기(MFC:Mass Flow Controller), 열교환기(Heat Exchanger)도 전시한다. MFC는 불변성의 질량 기준으로 온도나 압력이 변화하는 조건에서 유량을 정확하게 측정, 제어한다. 열교환기는 반도체 공정에서 사용되는 프로세스 가스를 순간 고온으로 변환해주는 장치다.


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    한주엽 기자
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    출처 : 전자부품 전문 미디어 디일렉

    http://www.thelec.kr/news/articleView.html?idxno=629


 Products

  • HX Series
    HX Series are compact heat exhanger utilizing LINTEC’s high-efficiency vaporization techniques....

  • It can bel heat up to maximum 300℃ and has metal-composed, clean casing, thermal switch for abberent heating detection installed. It can be installed in existing piping, useful for N2 purge, and inhibits the occurrence of particles.

  • MC-10 Series
    These MFCs enable rapid and accurate flow control despite relatively low unit prices....

  •  MC-10 Series are using fast-acting solenoid actuator and can be adopted at the over 10SCCM flow rate. Available RS-485 digital interface and VR function. By using metal case and various filters, stable operation can achieved through reduction of radio frequency noises and electromagnetic field interference

  • VU-900 Series
    VU-900 Series are vaporizers providing stable vaporization of liquid source by preventing heat deterioration through reducing possibility of direct contact of liquid with vaporization chamber....

  • It is the high precision liquid vaporization system control using solenoid actuator and the most suitable for thermally unstable materials such as low-k, high-k, and various metals. It can be rapid vaporization of the liquid sprayed upon the use of double orifice nozzle within vaporization chamber by radiant heating and efficient liquid vaporization control when used in combination with LM-3000L Series.

  • MC-700 Series
    These are the variable range MFC equipped with 3 variable rotary switches for gas type selection and flow rate adjustments....

  • MC-700 Series have the rotary switch and VR function-installed units. It offers one to multiple device support, eliminating the need for spare parts. MC-700 is using RS-485 interface and the LINTEC's original ambient temperature-compensated sensor. Also it has high-speed and high efficiency piezoelectric actuator and long-term leak tightness ensured using metal seal.

  • LM-3000L Series
    LM-3000L Series are high performance digital mass flow meter equipped with mass flow meter for liquid applications....

  • LM-3000L operates as a liquid mass flow controller when use in combination with CV-1000 Series or control valve-fitted VU Series and can also be used as a liquid mass flow controller upon integration of a solenoid-actuator driving circuit. It adopts the RS-485 digital interface and LINTEC’s original ambient temperature-compensated sensor incorporated. It is highly functional upon installation of microprocessor.
  • VU-450 Series
    VU-450 Series are solenoid actuator equipped compact vaporizer unit....

  • It has efficient liquid vaporization control when used in combination with LM-3000L Series.
    It is high precision liquid vaporization system control using solenoid actuator and vaporizing the multiple liquid materials conccurently when use in combination with liquid mass flow meters. This apparatus is most suitable for the use of liquid with low vapor pressure and low flow rate, such as low-k, high-k materials, and various metals. It can be rapid vaporization of the liquid sprayed upon the use of double orifice nozzle within vaporization chamber by radiant heating.

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