PRESYS Co., Ltd.

Suwon-si,  Gueonggi-do 
Korea (South)
http://www.presys.kr
  • Booth: C444


Welcome to PRESYS Company!

PRESYS CO., LTD. was made with the aim of localizations of vacuum equipment in 1999 August, and PRESYS is an enterprise manufacturing VACUUM VALVE A high degree vacuum adjustment device for a semiconductor had achieved steadily a localization after establishment this, and therefore it was supported 30 less or more kinds patents.


 Press Releases

  • [첨단 헬로티]

    프리시스(PRESYS)가 1월 31일부터 2월 2일까지 코엑스에서 개최되는 '세미콘 코리아 2018'에 참가해 스탠다드 게이트 밸브, 도어 밸브, 뉴매틱 게이트 밸브 등의 진공 밸브를 선보였다. 

    프리시스는 반도체 및 FPD(평판 디스플레이) 핵심 분야인 고진공 장치를 제공하는 기업이다. 프리시스 주력 제품인 진공밸브는 반도체 웨이퍼나 디스플레이 기판을 이송하는 장치와 프로세스 챔버 등 진공 시스템을 구성하는 부품에 장착돼 진공도를 유지하는 역할을 한다. 

    한국NI-네오다임

    이번 전시회에는 직사각형 및 원형의 게이트 밸브, 도어 밸브, 앵글 밸브 등을 전시했다. 프리시스의 진공 밸브는 반도체 공정은 물론 FPD, OLED, 태양열(Solar) 등의 공정에도 적용된다. 프리시스의 제품은 내열성과 내구성이 높아 수명이 길고 많은 반복 동작에도 분진이 방출되지 않아 수율 관리에도 효과적이다. 

    프리시스는 에이징 시스템을 자체 개발하여 부하 또는 무부하 시 발생되는 제품의 성능을 자동 관측하고 기록하여 신뢰성을 확보하고 있다. 특히 고객의 설비 환경에 최적화된 시스템을 제공하며, 도면 일치율 100%를 구현해 품질 손실을 최소화하는 것이 장점이다. 

    ▲ 프리시스의 직사각형 트윈 게이트 도어 밸브

    ▲ 프리시스의 프로텍션 게이트 밸브

    한편 '세미콘 코리아 2018'은 한국 반도체 산업의 지속적인 성장에 힘입어 국내 최대 규모로 진행된다. 4만 명 이상의 반도체 전문 엔지니어와 국내외 반도체 리더들이 한 자리에 모이는 반도체 산업 글로벌 축제 '세미콘 코리아'는 산업 발전의 촉매제 역할뿐 아니라 비즈니스의 실질적인 장으로 자리잡고 있다.

    /조상록 기자(mandt@hellot.net)
  • OLED용 증착 장비에 탑재되는 프리시스의 대형 직사각형 밸브(Large Rectangular Valve).
    <OLED용 증착 장비에 탑재되는 프리시스의 대형 직사각형 밸브(Large Rectangular Valve).>

    반도체 제조장비에 탑재되는 진공밸브 전문업체 프리시스가 유기발광다이오드176(OLED) 분야로 사업을 확장한다. 물량 확대에 대비해 공장 증축 작업도 하고 있다.

    30일 프리시스 관계자는 “주요 장비 고객사로 OLED 증착 장비용 진공밸브를 공급했고, 테스트를 하고 있다”면서 “조만간 패널 업체 클린룸에 우리 제품이 들어갈 것으로 기대한다”고 밝혔다. 이 관계자는 “31일부터 개최되는 세미콘코리아 2018에도 해당 제품을 전시하고 신규 고객사 확보에 힘을 쏟을 계획”이라고 설명했다. 

    프리시스 OLED용 진공밸브는 크게 두 가지다. 대형 직사각형 밸브(Large Rectangular Valve)는 클러스터 형태 디스플레이 증착 장비 부근 기판 이송장치에 붙어 외부 공기를 차단하고, 일정 압력을 유지한다. 이 제품이 고객사로 납품됐다. 현재 개발이 완료돼 고객사 공급을 기다리고 있는 펜듈럼(Pendulum) 밸브는 디스플레이 장비에 붙는 진공 크라이오 펌프에 장착된다. 

    회사 관계자는 “두 가지 밸브 외 다양한 제품군을 새롭게 개발하고 있다”고 말했다.

    1999년 설립된 프리시스는 반도체 장비 진공밸브 분야에서 130여건의 국내외 핵심 특허를 보유하고 있는 강소기업이다. 진공밸브는 반도체 웨이퍼나 디스플레이 기판을 이송하는 장치 혹은 실제 생산 공정이 수행되는 프로세스 챔버 등에 장착돼 진공도를 유지하는 장비 핵심 부품으로 꼽힌다. 과거에는 스위스나 일본 업체 제품을 수입해서 사용했지만, 프리시스가 독자 기술로 국산화에 성공했다. 

    프리시스는 독자로 기계 부품 가공 역량을 갖추면서도 높은 정밀도를 구현할 수 있는 계측 프로세스를 보유해 고객사가 원하는 사양의 고신뢰성 진공밸브를 공급할 수 있다.

    국내 최대 반도체 업체는 물론 주요 장비 업체가 프리시스의 진공밸브를 구매해서 사용한다. 이름만 들어도 알 만한 글로벌 반도체 장비 제조업체와도 거래 중이다.

    이 회사 진공밸브를 구매해 사용하는 고객사 관계자들은 내열성 등 내구성이 높아 수명이 길고 많은 반복 동작에도 분진이 방출되지 않아 수율 관리에도 효과적이라는 평가를 내놓고 있다. 

    프리시스 관계자는 “지난해 8월부터 약 1000평 규모로 공장 증축 작업을 시작했고, 올 중반기 혹은 하반기에 증축이 완료돼 본격적인 가동에 들어갈 것”이라면서 “늘어나는 밸브 수요를 충족하기 위한 시설 투자”라고 설명했다. 

    한주엽 반도체 전문기자 powerusr@etnews.com 

    http://www.etnews.com/20180130000171

  • 프리시스의 반도체 장비용 진공밸브.
    <프리시스의 반도체 장비용 진공밸브.>

    반도체 장비용 진공밸브 전문업체 프리시스가 올해 고객사 매출 확대에 힘입어 매출이 최대 70%까지 늘어날 것으로 전망된다. 신성장동력으로 육성하고 있는 대형 유기발광다이오드176(OLED) 디스플레이 제조장치용 진공밸브 분야에서도 새로운 성과가 기대된다.

    서진천 프리시스 대표.
    <서진천 프리시스 대표.>

    프리시스는 국내 최대 반도체 업체는 물론, 주요 장비 업체에 진공밸브를 공급하고 있다. 미국 L사 등 글로벌 반도체 장비 업체도 프리시스와 주로 거래한다. 최근에는 세계 최대 장비 업체와도 거래를 텄다. 국내 최대 반도체 업체의 사외 진공밸브 교육 업체로 선정되는 등 프리시스 기술력은 관련 업계의 높은 평가를 받고 있다. 

    반도체와 디스플레이 패널은 진공 상태에서 제조된다. 프리시스 주력 제품인 진공밸브는 웨이퍼 이송장치와 프로세스 챔버 등 진공 시스템을 구성하는 부품 가운데 진공도를 유지하기 위해 필요한 핵심 부품이다. 

    외부 공기 차단, 일정 압력 유지 등 다양한 기술이 요구된다. 특히 닫힌 상태에서는 완벽한 차폐를, 열린 상태에서도 일정한 수준의 내부 진공도를 유지할 수 있어야 한다. 개폐가 잦으므로 수명이 높아야 하고 내열성, 내식성 역시 요구된다. 진공밸브에서 발생되는 미세 분진은 수율에 치명적인 악영향을 끼친다. 따라서 수십만회의 반복 동작에도 분진 및 가스가 방출되면 안 된다. 프리시스는 독자 기계 부품 가공, 정밀 계측 시스템을 갖춰 고객사 요구에 맞춘 고신뢰성 진공밸브를 공급할 수 있다. 스위스와 일본의 선진 업체와 치열한 경쟁 속에서도 국내 최대 반도체 업체, 세계 최대 반도체 장비사가 프리시스 제품을 사용하고 있는 이유도 바로 이 때문이다. 

    1999년 설립된 프리시스는 글로벌 경쟁사와 비교하면 후발주자지만 기술 개발에 매진한 결과 진공밸브 관련 130여건의 국내외 핵심 특허를 보유하고 있다. 지난 4월에는 특허청 선정 '2017년도 글로벌 IP스타기업'에도 선정됐다. 

    챔버 클리닝 작업을 위한 NF3 주입 등 가스밸브도 프리시스 주력 제품 가운데 하나다. 식각 장비가 전문인 미국 L사는 이 제품을 대부분 프리시스로부터 조달받는다.

    프리시스는 그간 반도체 장비 밸브에서 대부분 매출이 나왔지만 앞으로는 대형 OLED176 장비용 진공밸브 공급도 확대되며 매출 비중이 높아질 것으로 회사는 기대하고 있다. 이미 주요 장비사에 공급을 시작했다. 이 회사는 OLED 장비용 진공밸브의 원활한 생산 공급을 위해 35억원을 투입, 지난 8월부터 공장 증축을 시작했다. 전체 공장 면적은 약 1000평, 밸브 생산용 클린룸은 약 600평 규모다. 

    서진천 프리시스 대표는 “OLED 시장으로 본격 진출하면서 매출 성장 기대감이 높다”면서 “앞으로도 연구개발(R&D) 역량을 계속 집중해 세계에서 독보적인 진공밸브 전문업체로 올라서는 것이 장기 목표”라고 포부를 밝혔다. 

    한주엽 반도체 전문기자 powerusr@etnews.com

    http://www.etnews.com/20170927000240

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