AUROS Technology, Inc.

Hwaseong-si,  Gyeonggi-do 
Korea (South)
http://www.aurostech.com
  • Booth: D712


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AUROS Technology is a world’s leading provider of the most advanced technologies that help our valuable customers continually make innovation and create the new life. As a technology oriented company, AUROS focuses on solving technical problems of customers in metrology area of semiconductor industry.

1. Overlay Metrology System :

We provide state-of-the-art overlay metrology system for FEOL/MEOL/BEOL as well as Bump/uBump overlay system in the senmiconductor area. Our varous systems have been already installed in many customer sites and run well for better fab operation. 

2. Pellicle/Mask Inspectin System :

Pellicle/Mask inspection system is an outgoing QC solution to pellicle manufacturer as well as incoming QC solution to mask manufacturer, captive shop and every site using pellicles. This system is powerful and user friendly AOI equipment for finalized pellicle. Every inspection step is fully automated and has powerful various functions and high throughput.

We have more informatin about AUROS Technology and our product line-up in our company web-site. please visit our web-site for more details and contact the sales person to discuss more. 

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 Press Releases

  • “오로스테크놀로지는 국내 유일의 반도체 오버레이 계측장비 전문 업체입니다. 앞선 기술력으로 해외 업체가 선점한 시장을 개척할 것입니다.” 

    이준우 오로스테크놀로지 대표는 “올해부터 급성장이 기대된다”고 자신했다. 오로스테크놀로지 주력 제품은 오버레이 계측장비다. 

    반도체 웨이퍼 가공은 패턴을 찍고, 물질을 덮고, 깎고, 씻는 과정의 연속이다. 빈 웨이퍼를 투입하고 2~3개월 동안 이런 과정이 수백회 반복돼야만 웨이퍼가 완성된다. 오버레이 계측 장비는 이러한 과정에서 웨이퍼 위로 쌓이는 각 층의 물질이 정확하게 정렬됐는지를 확인한다. 빛을 쏘아 반사된 빛을 확인, 분석하는 기술 방식이 활용된다. 케이크를 만들 때 빵 여러 겹이 균일하게 올라갔는지 확인한다고 생각하면 이해가 쉽다. 

    오버레이 계측장비 시장은 미국 KLA-텐코가 시장점유율 70%로 독식하고 있다. KLA-텐코 외 세계 노광 장비 시장을 독점하고 있는 네덜란드 ASML도 관련 장비를 만들어 30% 안팎의 점유율을 기록하고 있다. 연간 이 장비와 관련된 전 세계 시장 규모는 약 4500억원 규모로 추산되고 있다. 

    두 회사를 제외하면 이 장비를 만드는 곳은 오로스테크놀로지가 유일하다. 이른바 '시장 지배자'와 경쟁 관계에 있지만 이 대표는 “자신이 있고, 공급 실적도 나오고 있다”고 말했다.

    실제 오로스테크놀로지는 최근 여러 고객사로부터 오버레이 장비의 측정 정확성, 속도 등 주요 성능에서 기존 경쟁사 대비 우수하다는 평가를 받으면서 잇따른 러브콜을 받고 있다. 회사는 지난해 초 SK하이닉스 기술 혁신 기업 3개사 가운데 하나로 선정되기도 했다.

    이 대표는 “한국 최초이자 거의 유일하게 반도체 전 공정 분야의 계측 장비를 보유하고 있는 회사가 바로 오로스테크놀로지”라면서 “조만간 대형 거래가 성사될 것으로 기대한다”고 말했다. 이 대표는 “세계 굴지의 회사들과 경쟁해 당당하게 점유율을 높이면서 차세대 계측 장비에도 투자를 진행할 것”이라고 덧붙였다. 

    이 대표는 2008년 회사에 합류하기 전까지 10년 가까이 미국 계측장비 전문업체인 나노매트릭스에서 경험을 쌓았다. 지난해 오로스테크놀로지 매출액은 108억7200만원, 영업이익은 17억원이다. 

    한주엽 반도체 전문기자 powerusr@etnews.com 
  • 반도체 계측검사 장비업체인 오로스테크놀로지가 개발한 `오버레이(overlay) 계측기`가 2013년 제30주차 IR52 장영실상을 수상했다. 오버레이 계측기란 반도체 제조 공정에서 형성되는 적층의 패턴(patternㆍ반도체 칩에 정밀하게 회로를 만드는 과정) 가운데 잘못된 정렬들을 확인하는 장비다. 즉 얇은 회로가 담긴 수십 개 층이 비뚤어지지 않고 아래위로 제대로 쌓였는지 검증하는 장비다.

    반도체 회로 선폭이 극도로 미세화하면서 반도체 계측 분야에서도 초정밀 장비가 필요하고 그 수요도 점차 늘어나는 추세다.
    삼성전자와 하이닉스 등 국내 반도체 제조업체는 `20나노미터(㎚=1㎚는 10억분의 1m) 공정`에서 가장 앞선 기술을 확보하고 있다. 하지만 반도체 미세화 공정에 필요한 핵심 장비인 오버레이 계측기는 그동안 이스라엘 업체가 국내에 독점 공급해 왔다. 이런 상황에서 오로스테크놀로지는 국내 최초로 오버레이 계측기를 개발해 전량 수입에 의존하던 장비를 대체하기 시작했다.

    이준우 오로스 상무(연구소장)는 "니콘 등 일본과 미국 업체들도 정밀성 문제를 극복하지 못해 개발을 포기한 오버레이 계측기를 국산화한 것"이라며 "이 장비 개발로 100% 수입에 의존하던 국내 시장을 대체해나가고 해외시장까지 진출할 수 있는 토대를 마련했다"고 말했다. 이 제품은 인공지능 기술을 적용해 0.4㎚ 이하까지 초정밀하게 측정할 수 있다. 오로스테크놀로지는 이 제품 개발로 지난해 100억원의 매출을 올렸고 올해는 200억원을 목표로 하고 있다. 내년에는 1100억원대를 형성하고 있는 국내 오버레이 계측장비 시장의 절반 이상을 잠식할 수 있을 것으로 보고 있다.

    이 상무는 "앞으로 반도체 계측장비 시장뿐 아니라 최첨단 측정장비가 필요한 유기발광다이오드(OLED)와 액정표시장치(LCD) 산업에도 진출할 것"이라고 말했다.

    ■ 주최 : 매일경제신문사, 한국산업기술진흥협회 

 Products

  • OL-800n
    AUROS Technology has just released the latest model of overlay metrology system to satisfy the customers' demands. ...

  •  AUROS Technology has just released the latest model of overlay metrology system to satisfy the customers' demands.
     As the technology node is getting smaller and the margin of process control is tighter, it is getting difficult for customers to cope with accuracy, process management, productivity etc. In order to provide the best solutions for accuracy, yield enhancement, fab operation, and productivity.

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