Anseong-si, Gyeonggi-do, 
Korea (South)
  • Booth: A708

Energy Saving and Safety specialized company


  • ERM-PHK(Proces Pump 소비전력 절감 및 배기라인 Powder 생성방지 장치)
    반도체 및 LCD 진공 Pump의 배기구에 설치하여 진공 Pump의 배기압력을 감압하여 소비 전력을 절감하고 Heating N2를 음속으로 분사하여 배기단 Powder 형성 및 누적 조건 억제하기 위한 장치입니다....

  •   - H2, SiH4, NH3등 폭발성, 가연성, 자연 발화성 Gas의 희석(Dilution)을 통해 환경안전 사고 발생

       가능성을 제거하기 위한  Pump 배기단 희석비 관리

     - Ejector Design으로 음속 분사하여, 배기 배관 누적/증착 부산물의 접촉 기회를 최소화

     - 저온/상온 대역에서 온도에 따른 상(Phase) 변화로 Powder화 되는 부산물의 배기 환경을

       고온으로 유지하여  Pump 배기 배관 내의 Powder 형성 조건 및 Powder 누적 조건 억제

     - 자체 진공 -135Torr 발생으로, Pump 소비 전력을 10~20% 상시 절감 및 소비 전력 절감에

       따른 CO2 배출 저감

     - Rotor 기계적 부하 경감에 따른 회전축 Bearing 보호되어 Pump 수명 연장 추가 도움

  • ERM-L(Loadlock Pump 소비 전력 절감 장치)
    반도체 및 LCD 생산 설비용 Loadlock Pump 배기구에 설치하여 배기압력을 감압하여 해당 Pump의 소비전력을 50%이상 절감하는 장치입니다....

  • 1.반도체, 디스플레이, 전자 업체에서 제품 생산을 위해 Vacuum Pump를 24시간 가동을 합니다. (Load-lock Vacuum Pump)

    2.Vacuum pump는 모터를 구동하여 회전체(Rotor)를 통해서 진공을 만듭니다.

    3.반도체 공정에서 전력 소비에 많은 비중을 차지하는 것이  Vacuum Pump 입니다.

    4.공정 진행 중 제품 생산을 위해 Main Chamber로 이동 하기 전 대기하는 구간이 Load-Lock 구간 입니다.

    5.Load-Load 구간에도 진공 상태를 유지해야 되기 때문에 Vacuum Pump를 가동 시킵니다.

    6.당사 제품인 ERM-L은 Pump의 대기 상태에서 pump의 배기 압력을 감압하여 소비 전력을 절감하는 장치 입니다.

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