CLANET

Yongin-si, Gyeonggi-do, 
Korea (South)
http://www.clanetc.com
  • Booth: D716


 Press Releases

  • [투데이에너지 진경남 기자] (주)미코가 부안군청에서 국내 지자체 최초로 고체산화물 연료전지(SOFC) 시스템의 설치 및 실증 운전을 위한 업무협약을 체결했다고 지난 17일 밝혔다.

    SOFC는 수소와 산소의 전기화학반응으로 직접 전기를 발생시키는 발전원으로 탄소배출이 적고 설치면적이 작다. 또한 발전효율이 타 연료전지대비 높고 수소, 도시가스, 바이오가스 등 다양한 연료사용이 가능함에 따라 차세대 연료전지로 인식되고 있다.

    미코는 SOFC 기술에 관해 소재부터 시스템까지 자체기술력을 보유한 국내 유일기업으로서 올해 10월 자체기술로 개발한 2kW급 SOFC 시스템(제품명 TUCY)에 대해 한국가스안전공사(KGS) ‘설계단계검사’를 완료함으로써 시스템에 대한 상용 기술을 확보한바 있다.

    또한 올해 11월 산업통상자원부 에너지기술개발사업으로 추진되는 ‘kW급 건물용 SOFC시스템 실용화 기술개발 사업’에 최종 참여기업으로 선정됨으로써 시스템의 본격상용화를 위한 실증 기반을 마련했다.

    이번 부안군 및 전라북도와의 업무협약도 위와 같은 실증사업의 일환으로써 2022년까지 실증사업이 이뤄질 예정이다. SOFC는 수소를 테마로 조성되는 부안 자연에너지 공원 내에 설치될 예정이다.

 Products

  • PRIMELINE
    PRIMELINE 시리즈(series)는 CLEANSORB를 이용한 모든 기능을 보유한 모델입니다. 이 시스템은 금속 유기 화학 기상 증착(MOCVD) 공정에서 사용되는 가스의 종류, 사용량 및 운영조건에 특화되어 설계 되었습니다. CLEANSORB PS 모델은 대용량의 백업 컬럼(Back-up Column)이 존재하여, 메인 컬럼(Main column)에 문제가 생기거나 수명이 다한 경우에라도 지속적인 운영과 고객 제품의 생산 진행이 가능합니다....

  • PRIMELINE PD 모델은 2개의 메인 컬럼(Main column)과 백업 컬럼(back-up column)이 존재하여 총 3개의 반응
    구간이 있습니다. 하나의 매인 컬럼(Main column)이 배기가스(Exhaust gas)를 흡수(Absorption)할 수 있으며, 또
    다른 메인(Main column)은 일부 잔여가스(Residual gas)의 완벽한 처리를 위하여 존재합니다. 또한 모든컬럼(
    Column)은 리필(Refill)을 하기 위해 시스템 캐비닛으로 부터 탈착 전에 독립적인 퍼지(purge)기능을 제공합니다.
    저희 시스템은 기본적으로 반도체 장비안전 국제표준 규격인 SEMI-S2 를 준수하며, 경우에 따라 UL, CE 인증을
    진행합니다.

    • MOCVD 공정의 주요 공정 가스인 AsH3, PH3, GeH4에 사용 가능한 전용 CLEANSORB 적용
    • TMGa, TEGa, TMAl, TMIn 처리용 전용 CLEANSORB 적용
    • Air, H2O와 접촉 시, 또는 다량의 공정가스 사용시 발열을 야기하는 실리콘, 3-5족 epitaxial 공정의 안전한 발열 관리를 위해 최적화.
    • 컬럼(Column)의 적외선 온도 모니터링 시스템 및 온도 상승 시 불활성 가스를 이용한 급속 냉각과 같은 안전 기능 장착
    • 자동화된 운영 시스템이 탑재된 Touch-screen control (PD model)
    • 이중 안전장치(Independently Dual interlock) 기능이 있는 SEMI-S2 인증 완료.
  • FABLINE
    FABLINE은 제품 양산 체계가 구축된 대규모 공장에서 독성/유해가스 처리가 가능한 CLEANSORB의 표준 시스템 모델입니다. 세가지 컬럼(Column) 사이즈로 제공되는 이 표준 시스템은 시제품 또는 완전 양산 체계의 제조공장에 쉽게 적용될 수 있습니다. CLEANSORB의 안정성과 효율성으로 FABLINE은 전세계적으로 5,000 대 이상의 시스템이 설치 되어있습니다. ...

    • 추가적인 에너지 투입 없이 작동 가능하며, 온도/압력/농도 센서 사용을 위한 소량의 전기 이외에 가열을 위한 연료 또는 전기, 시스템 냉각을 위한
      PCW 혹은 폐가스 처리를 위한 물을 사용하지 않음.
    • 내부식성 316L 스테인리스 스틸로 제작되며 각 부품들은 높은 신뢰성(Reliability)을 갖는 고품질 구성품으로 제작.
    • 컬럼(Column)에 대한 압력 유지 검수(품질 검사) 및 컬럼(Column) 교체를 위한 자동화된 가스 퍼지(purge) 시스템 장착.
    • 양산 제조 시설의 배기 시설 용량이 충분치 못한 경우, 시스템 내부에 장착 가능한 블로워(Blower)가 포함되어 높은 운영 안정성 제공.
    • 이중 안전장치(Independently Dual interlock) 기능이 있는 SEMI-S2 인증 완료.
    •  Plasma Etching, CVD, ALD, Ion Implantation, CIGS Photovoltaics 적용가능
  • LABLINE
    CLEANSORB LABLINE은 소형 흡수컬럼(Absorber column)을 특징으로 합니다. LABLINE은 유해가스를 수동적으로 화학 흡착하는 기능을 가지고 있기 때문에 간헐적인 실험이 진행되는 실험실에 유리합니다. 또한, 새로운 실험을 할 때마다 가열하거나 활성화할 필요없이 즉각적인 운영이 가능합니다. CLEANSORB의 화학흡착은 광범위한 선택성을 요구하는 연구개발에 이상적인 유연성을 제공할 수 있습니다....

    • 설치비용이 저렴하며, R&D 부서 또는 대학의 소규모의 실험실에서 사용가능
    • 공정조건과 충진 약재(CLEANSORB) 에 따라 높은 성능과 오랜 수명 보장.
    • 여러 가스 캐비닛에서 조합된 벤트 퍼지가스(vent purge gas) 를 제거하는데 사용 가능
    • 전면에 판넬컨트롤(Panel control), 파라미터(parameter)표시, 무전압 접점 및 디지털 신호 인터페이스 가능
  • CLEAN PROTECT
    비상시 gas 누출에 대한 최소한의 안전 대응 시스템 (Safeguard) - CLEAN-PROTECT는 다수의 Air-extracted cabinet을 병렬 연결하여, 가스 누출사고가 발생할 경우 유독성 가스 또는 기타 위험한 가스를 흡수하도록 설계가 되어있습니다. - AsH3, BF3, Br2, Cl2, ClF3, COCl2, F2, HCl, HF, HBr, H2S, H2Se, HCN, NH3, N2H4, PH3, SO2 gas를 포함합니다....

    • 고유량 적용 가능, 다수의 Air-extracted cabinet 또는 가스 공급실 비상 환기 시스템 적용 가능. 여러 개의 가스 캐비닛 보호 가능
    • 매우 낮은 수준의 차압 (Low pressure drop)
    • 기본적으로 반영구적으로 사용가능하며, 조건에 따라 영구적으로 사용가능. 사실상 유지보수 필요 없음
    • 추가적인 에너지 투입 없이 운전 하며, 전기 미사용
    • CLEANSORB absorber service life : 5년
  • STAND-ALONE
    소규모 연구실의 경우 CLEANSORB STAND-ALONE 을 사용하여 실험 후 남아있는 가스잔여물을 제거할 수 있습니다. 공기 외부 배출이 가능한 캐비닛과 독립형 압력 모니터링 시스템 및 가스 감지기능이 있는 센서류 옵션을 포함한 안전 구성요소들을 액세서리로 제공해드립니다. ...

    • 설치비용이 저렴
    • 적은 공간을 차지하며 ALD, CVD, Etch 등 또는 이와 유사한 R&D용 시스템에 적용 가능
    • 시스템을 Upgrade 할 수 있는 추가적인 액세서리
  • CLEAN-VENT
    - 가스캐비닛(Air extracted cabinet)에 새로운 가스 실린더(gas cylinder)로 교체하는 경우 이전 가스실린더 또는 - 배관 내에 남아 있는 잔여 가스(residual gas)를 제거해야 합니다. - CLEANVENT는 25년 이상 이런 위험한 가스를 퍼지(purge)하여 CLEANSORB 통해 완벽하게 제거하여 안전한 해결책으로 입증되었습니다....

    • 가스캐비닛 또는 밸브(Valve)박스의 위험한 배기가스 또는 잔여가스 제거
    • 상온에서 고체 부산물로의 비가역적 전환 → 높은 안전성
    • 100가지 이상의 가스 및 유기금속 전구체(organometallic precursors)에 적용 가능
    • 전세계 지역리필센터에서 카트리지 충진 및 교체 가능

BEWARE - Special Warning Notice about ExpoGuide and FAIRGuide

With the ongoing solicitations, SEMI would like to continue to alert you with questionable professional practices perpetrated against exhibitors by FairGuide.com (Austria) and Expo Guide (Mexico), Event Fair - The Exhibitors' Guide with their misleading directory services. There may be others that we are not aware of and are hence not named here. 

These companies provide legitimate exhibition guides aimed at exhibitors across the globe offering online listing services. They use a form which resembles and organizer's free catalogue listing service, inviting exhibitors to complete the form for an entry in an on-line directory. Unsuspecting exhibitors who sign and return the form are then contracted into a three-year, non-retractable agreement, which could cost the exhibitor a significant amount of money, with very limited foreseeable benefits. The details are often available on the form itself, but are often too small and insignificant to be noticed. It is always wise to really the small print before signing a contract, and if the information is impossible to read then the contract should not be signed. These publications have no connection with SEMI or any of our events, and it is important that all companies are made aware of this. 

Should you receive any communication from the Expo-Guide and Fairguide.com or related company, please IGNORE THEM COMPLETELY and DO NOT COMMUNICATE WITH THEM IN ANY WAY.

For Technical Support with this webpage, please contact support.