02-531-7800

Lintec Korea

Seongnam-si,  Gyeonggi-do 
Korea (South)
http://www.lintec-mfc.co.jp
  • Booth: A824


Lintec will provide the smartest life with better products.

LINTEC has been producing the best products in the field of gas and liquid control for the past 30 years. The world's first digital type MFC was produced and applied to semiconductor and display equipment. In the liquid solution field, LINTEC has more than 20 different vaporizers, LMFC and LMFM. End-users in Semiconductor and Solar production field can be applied to high-K, low-K and plasma deposition by using the liquid solutions. It is making two or three new products every year and is currently used in CVD and ALD equipment used in the Thin Film process. Heat Exchanger, Heating Filter, and Control Valve are also used in various Liquid Vapourizing systems. LINTEC promises to provide the best gas, liquid control solution.


 Press Releases

  • 린텍코리아(대표 전성길)는 새해 2월 열리는 세미콘 코리아에서 회사 주력 제품인 기화기(Vaporizer)와 유량조절계(Mass Flow Controller)를 집중적으로 선보일 계획이다.

    기화기는 말 그대로 액체 원료를 기체로 만들어 공급하는 장치다. 반도체 제조 과정에서 기화기는 디퓨전 공정에 사용된다.

    유전막 생성 목적으로 액체 프리커서를 직접 기화시켜 가스로 만들고 이를 증착장비(CVD) 진공 챔버에 공급하는 용도로 기화기가 쓰인다.

    반도체에서 유전막은 전기선의 피복선과 같은 절연막 역할을 한다. 전하가 새거나 주변 커패시터와의 간섭을 막는 것이다.

    D램 선폭이 좁아지면서 유전막의 중요성 역시 커지고 있는데, 린텍코리아 기화기는 다양한 액체원료를 대유량으로 기화 공급할 수 있다는 게 특징이다.

    린텍코리아 관계자는 “양질의 유전막을 위해 반도체 공정에서는 하프늄(Hf), 지르코늄(Zr) 등 새로운 원료가 사용되고 있다”며 “VU-900 시리즈의 경우 현재 관련 유전막 양산 공정에 성공 적용되고 있다”고 말했다.
    린텍코리아 유량조절계(MFC)는 제조 공정에 주입되는 가스 양을 측정하고 제어하는 장치다.

    반도체나 디스플레이는 미세 기술 및 공정으로 만들어지기 때문에 정밀 제어가 필수다. 투입되는 소재나 원료에 작은 오차라도 생기면 품질 문제로 직결된다.

    린텍은 1980년대 후반부터 〃〃MFC를 만들어 차별화된 경쟁력을 쌓았다. 린텍 MFC 중 최신 제품인 MC-7000 시리즈는 독자적인 자기온도 보상방식을 채택해 부식성 가스나 액화 가스에도 대응할 수 있다. 높은 유량 정확도(±1.0%SP)를 보증하고 고속 응답(0.2sec 이하)도 구현했다.

    린텍은 MFC 분야에서 디지털 통신 제품을 최초 출시하고 외부 온도에 영향을 받지 않는 제품, 특수 가스에도 대응할 수 있는 안전성을 강화한 제품 등 다양하면서 선도적인 MFC를 선보였다.

    린텍코리아는 일본 린텍(LINTEC)의 한국영업소로 출발했지만 연구개발(R&D) 기능을 수행하며 한국 반도체·디스플레이 업계에서 영토를 확장해왔다. 새해는 R&D 투자를 강화해 성장을 추진할 계획이다.

    전성길 린텍코리아 대표는 “새해에는 MFC 국산화와 유량 센서를 이용한 제품 라인업을 추진할 방침”이라며 “공격적 R&D 투자가 이뤄지는 해가 될 것”이라고 말했다.

  • 린텍코리아(LINTEC KOREA)는 세미콘 코리아 2019에서 주력 제품인 VU-900 시리즈 베이퍼라이저(Vaporizer) 제품을 집중적으로 알릴 계획이다.
    베이퍼라이저는 단어 뜻 그대로 ‘기화기’를 의미한다. 반도체 디퓨전(Diffusion) 공정에서 액체 프리커서(Liquid Precursor)를 직접 기화시켜 가스로 만들고, 화학기상증착(CVD) 장비 진공 챔버로 공급하는 용도로 사용된다. 이를 통해 유전막을 생성할 수 있다.
    D램은 셀 커패시터 전하 저장 유무에 따라 0과 1을 구분한다. 커패시터를 만들 때는 전하가 너무 빠르게 새는 것을 막거나 주변 커패시터와 간섭을 없애기 위해 유전막을 형성한다. 유전막은 전기선 플라스틱 피복선 같은 절연막 역할을 한다. D램 선폭이 좁아질수록 보다 양질의 유전막이 필요하다.
    유전막의 균일성을 유지하는 것이 D램 제조 핵심이다. 같은 조건에서 20나노 커패시터를 만들 경우 분자구조로는 더 작아진 트랜지스터에 균일한 유전막을 만들기가 매우 어렵다. 미세화가 이뤄질수록 유전막을 얼마나 얇고 촘촘하게 만들 수 있는지가 성공의 관건이다.
    장비 제조사들은 프리커서를 기화시킬 때 응답 시간 단축, 박막의 일정한 도포, 기화량 증가 등을 요구하고 있다. 린텍의 VU-900 시리즈 베이퍼라이저는 이러한 고객사 요구에 특화된 제품이다. 이미 지르코늄(Zr) 유전막 양산 공정에서 활용되고 있다.
    전성길 린텍코리아 대표는 “VU-900은 기화된 가스의 열변형, 미스트(Mist) 등이 가장 적어서 균일한 유전막 생성에 최적화된 제품으로 평가받고 있다”면서 “기화량을 최대화해 효율을 높였고 국내에서 개조 작업 등이 가능해 고객사도 유지보수 비용을 절감했다”고 설명했다.
    린텍코리아는 베이퍼라이저 외 질량유량제어기(MFC:Mass Flow Controller), 열교환기(Heat Exchanger)도 전시한다. MFC는 불변성의 질량 기준으로 온도나 압력이 변화하는 조건에서 유량을 정확하게 측정, 제어한다. 열교환기는 반도체 공정에서 사용되는 프로세스 가스를 순간 고온으로 변환해주는 장치다.

 Products

  • MC-700 Series
    MC-700 Series...

  • MC-700 Series have the rotary switch and VR function-installed units. It offers one to multiple device support, eliminating the need for spare parts. MC-700 is using RS-485 interface and the LINTECs original ambient temperature-compensated sensor. Also it has high-speed and high efficiency piezoelectric actuator and long-term leak tightness ensured using metal seal.
  • MC-10 Series
    MC-10 Series...

  • MC-10 Series are using fast-acting solenoid actuator and can be adopted at the over 10SCCM flow rate. Available RS-485 digital interface and VR function. By using metal case and various filters, stable operation can achieved through reduction of radio frequency noises and electromagnetic field interference
  • LM-3000L Series
    LM-3000L Series...

  • LM-3000L operates as a liquid mass flow controller when use in combination with CV-1000 Series or control valve-fitted VU Series and can also be used as a liquid mass flow controller upon integration of a solenoid-actuator driving circuit. It adopts the RS-485 digital interface and LINTEC’s original ambient temperature-compensated sensor incorporated. It is highly functional upon installation of microprocessor.
  • HX Series
    HX Series...

  • It can bel heat up to maximum 300℃ and has metal-composed, clean casing, thermal switch for abberent heating detection installed. It can be installed in existing piping, useful for N2 purge, and inhibits the occurrence of particles.
  • VU-450 Series
    VU-450 Series...

  • It has efficient liquid vaporization control when used in combination with LM-3000L Series.
     It is high precision liquid vaporization system control using solenoid actuator and vaporizing the multiple liquid materials conccurently when use in combination with liquid mass flow meters. This apparatus is most suitable for the use of liquid with low vapor pressure and low flow rate, such as low-k, high-k materials, and various metals. It can be rapid vaporization of the liquid sprayed upon the use of double orifice nozzle within vaporization chamber by radiant heating.
  • VU-900 Series
    VU-900 Series...

  • It is the high precision liquid vaporization system control using solenoid actuator and the most suitable for thermally unstable materials such as low-k, high-k, and various metals. It can be rapid vaporization of the liquid sprayed upon the use of double orifice nozzle within vaporization chamber by radiant heating and efficient liquid vaporization control when used in combination with LM-3000L Series.

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