Trappack의 구조는 흡착 및 Filter 구조에 따라 성형,coil,combi type으로 분류 됩니다. Filter(Magnet Fiber)는 플러스(+) 또는 마이너스(-)로 이온화한 이온교환섬유에 반응생성물이 흡착되며 시간이 경과되면서 Powder가 이온교환섬유에 적층 상태로 포집됩니다. Filter의 종류에 따라 미세 Powder (0.1㎛) 고효율 포집과 다량의 Powder 동시 포집이 가능합니다.
Trappack의 종류는 성형,coil,combi 가 있으며 다음과 같은 특징이 있습니다.
성형 Trappack은 Powder를 표면에서 내부로 유도 및 흡착 포집하는 원리이며, 포집된 Powder의 총 중량은 Filter 자중의 10배 이상도 가능합니다.(0.1㎛ 고효율 포집 가능) 주요 적용 공정으로는 IMP,ETCH,ALD 등이 있으며, Powder 포집 효율은 약 95% 입니다.
coil Trappack은 coil plate와 함께 설치가 되며 gas가 inlet에서 coil center 쪽으로
소용돌이를 일으키며 선회상승 하며 이때, Powder가 서로 충돌 하면서 coil Filter에 흡착 되는 원리입니다.
주요 적용 공정으로는 다량의 Powder가 발생하는 CVD,ETCH 등이 있으며, Powder 포집 효율은 약 75% 입니다.
Combi Trappack은 1차 성형 Type과 2차 coil Type 이 복합적으로 적용 되어, 미세 부터 다량의 Powder 동시 포집이
가능한 특징을 가지고 있습니다. Powder 포집 효율은 약 95% 입니다.
Trappack의 효과는 다음과 같습니다.
1. 무형효과 (환경안전)
- 부식 : 배관 부식으로 인한 Gas leak 사고 방지
- 폭발 : 배관 내 Powder막힘으로 인한 폭발 사고 방지
- 접촉 (폭발 2차 사고) : 폭발에 의한 Powder 인체 접촉, 흡입의 사고 방지
- 발열 : SiH4, Ph3 Gas leak에 의한 화재 사고 방지
2. 유형효과
- Pump Overhaul 비용 절감
- 수선비 절감 (PM 주기 연장, 작업 비용 감소)
- PM 주기 연장 → 장비 가동률 향상 (Capa Up)
- Scrubber Overhaul 비용 절감
주요 고객으로는 samsung, SK hynix 등이 있으며, 현재까지 약 1800대 납품 실적이 있습니다