Gate Valve
- 진공밸브는 상압(ATM)-진공 또는 저진공-고진공을 유지하면서 공정을 위해
Glass나 Wafer가 챔버間 이동時 정해진 압력을 유지시키는 부품임.
- OLED나 반도체 공정은 (超)고진공 상태에서 전극 또는 화소를 Glass에 Patterning
하는 Process가 필요함.
- OLED와 반도체는 LCD 대비 高 신뢰성이 요구되며, 이러한 신뢰성의 주요 항목으로는
내식성, 내화학성, 오염도 방지, 무변형 등으로 Specification이 매우 높음.
APC(Auto Pressure Control) Valve
- 진공 밸브와 진공 분위기를 만드는 고용량의 진공펌프 사이에 팬들럼 형상의
밸브가 필요하며, 당사는 12Inch에서 22Inch까지 공급을 하고 있음.
- 이러한 팬들럼 밸브를 제품 공정에 사용하는 Gas의 종류와 양에 따라 자동적으로
조절, 개폐가 가능한 APC(Auto Pressure Control) 밸브임.