*시스템 사양
- 공급 방식 : Pump 또는 N2 가압
- 제어 방식 : 전자동 시스템 (PLC & Touch Screen)
- 공급 유량 : 1~100 LPM
- 공급 압력 : 0.3~0.5 MPa
- 약액 종류 : 무기(HCL, HF, TMAH, KOH ...etc, 유기(NMP, IPA, THINNER ...etc
*시스템 장점
- 자동/수동 운전 가능
- Chemical 특성별 안전장치 설치
- 오 조작 방지용 인터록 기능
- 알람 기능 및 알람 이력관리
- 상위 감시용 통신 지원