HORIBA KOREA Ltd.

Anyang-si,  Gyeonggi-do 
Korea (South)
http://www.horiba.com/kor/
  • Booth: D432

The HORIBA Group of worldwide companies provides an extensive array of instruments and systems for applications ranging from automotive R&D, process and environmental monitoring, in-vitro medical diagnostics, semiconductor manufacturing and metrology, to a broad range of scientific R&D and QC measurements. Proven quality and trustworthy performance have established widespread confidence in the HORIBA Brand.

Inspired by our unique motto, “JOY and FUN,” we focus on social responsibilities by building state-of-the-art products for scientific advancement; especially for protecting health, safety, and the environment. “HORIBARIANs,” the HORIBA employees all over the world, are looking forward to working with you and providing the best analytical solution for your needs.


 Press Releases

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    [디지털데일리 김도현 기자] 최근 국내외 배터리 제조사가 잇달아 유럽과 미국에 공장을 구축하고 있다. 고객사인 글로벌 완성차업체와 근거리에서 협업하기 위함이다. 반도체 분야에서는 한국이 ‘허브 국가’로 떠오르고 있다. 삼성전자와 SK하이닉스 존재 때문이다. 일본 소재·부품·장비 업체는 두 회사와의 밀접한 관계 유지를 위해 줄줄이 한국행을 결정하는 분위기다. 일본 수출규제 이후 이러한 현상은 두드러지고 있다.

    17일 일본 호리바그룹은 한국 강화 전략을 발표했다. 국내 법인 호리바에스텍코리아가 오는 6월부터 질량유량 제어기기(MFC) 하이엔드 모델 ‘D500’ 시리즈를 생산하는 것이 골자다.


    MFC는 반도체 증착 및 식각 공정에서 가스 공급의 정밀 제어 역할을 하는 제품이다. 호리바그룹은 관련 시장점유율 60% 내외를 차지하는 업체다. 회사 관계자는 “한국이 주요 거점이라는 인식을 공유하고 고객 맞춤형 대응을 위해 이번 결정을 내리게 됐다”고 설명했다.

    일본 반도체 기업이 한국 법인 강화 또는 신공장 설립하는 사례는 처음이 아니다. 당초 한국과 일본은 지리상으로 멀지 않기 때문에 현지에서도 국내 업체 수요 대응이 가능했다. 법인을 세우더라도 주요 연구개발(R&D) 및 생산시설은 자국에 뒀다. 하지만 지난 2019년 일본 수출규제를 기점으로 삼성전자와 SK하이닉스가 국산화 비중을 높이면서 발등에 불이 떨어졌다.

    한국무역협회에 따르면 2020년 우리나라가 일본에서 수입한 불화수소는 938만달러(약 105억원) 수준이다. 전년(3633만달러)대비 74.2% 급감했다. 전체 불화수소 수입량 중 일본산이 차지하는 비중은 32.2%에서 12.8%로 낮아졌다. 일본 정부가 불화수소를 제재 품목에 올리면서 공급망 다변화에 나선 결과다. 국내에서는 SK머티리얼즈 솔브레인 램테크놀러지 등이 수혜를 입었다.

    이는 일본 기업의 실적 하락으로 이어졌고 결과적으로는 자국 정부의 정책이 발목을 잡게된 셈이다. 최근 일본 닛케이신문은 “한국의 반도체 소재 국산화로 일본 기업이 타격을 입었다”며 자조적인 목소리를 내기도 했다.

    현지 기업이 택한 승부수는 한국행이다. ▲반도체 웨이퍼 연마 소재 납품하는 쇼와덴코 ▲고유전재료를 생산하는 아데카 ▲극자외선(EUV)용 포토레지스트 공급하는 도쿄오카공업 ▲특수가스 황화카르보닐을 만드는 간토덴카공업 ▲반도체 장치용 석용 유리 제조하는 토소 등이 주요 제품 생산이나 개발을 국내에서 수행하기로 했다.

    이들은 호리바와 마찬가지로 각 분야에서 막대한 영향력을 가진 업체들이다. 그럼에도 대형 고객사인 삼성전자와 SK하이닉스가 있는 한국을 ‘특별관리’하기 위해 움직이고 있다는 의미다.

    반도체 업계 관계자는 “삼성과 SK는 세계적인 반도체 기업이다. 일본 수출규제 여부를 떠나서 대형 고객사라는 뜻이다. 일본 기업이 이들을 붙잡기 위해 한국으로 향하는 일은 앞으로도 이어질 것”이라면서 “삼성과 SK 입장에서도 당장 전 분야에서 자립화가 어려운 상황에서 기술력을 갖춘 일본 업체가 찾아오는 것은 긍정적”이라고 분석했다.

    <김도현 기자>dobest@ddaily.co.kr

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    호리바에스텍코리아, 질량유량 제어기기 생산 체제 강화
     
    [산업일보]
    호리바에스텍코리아(주)는 17일 보도자료를 통해 질량유량 제어기기(MFC, Mass Flow controller)의 생산 체제를 강화하고, 하이엔드 모델의 D500 시리즈를 올 6월부터 국내 생산한다고 밝혔다.
     
    코로나19 확산으로 재택근무, 원격 근무 증가 등 5G 기술에 대한 투자의 가속화로 올해도 반도체 호황이 예상되는 가운데, 호리바에스텍은 반도체 업계를 선도하는 한국 시장에 더 집중하고자 호리바제작소의 반도체 사업 계열사인 호리바에스텍의 한국 법인인 호리바에스텍코리아의 역량 강화를 결정했다.
     
    이번 결정은 한국 반도체 파운드리의 소재·부품·장비 부분을 강화하려는 한국 정부 방침에 동참하면서, 한국 반도체 시장 확대에 더 빨리 대응하고 협력하기 위한 것이라는 게 호리바에스텍코리아 측의 설명이다.
     
    이에 호리바에스텍은 기존 생산 제품에 호리바그룹 내 반도체 사업 부문의 대표 제품인 하이엔드 모델 MFC D500 시리즈를 기존 제품 수량들과 합해 월 1천 대를 목표로 한국에서 생산할 예정이다.
     
    한국 생산 강화 전략은 그룹 내부적으로 ‘반도체 부분은 한국이 주요 거점’이라는 인식을 공유하고, 고객 맞춤형 대응을 하기 위한 방안이자 2019년 설립한 R&D 센터에 투자하기 위한 노력이기도 하다.
     
    이를 통해 반도체 분야의 성장에 속도를 내면서 애플리케이션 및 생산 능력을 함께 확대할 계획이다.
     
    호리바에스텍코리아 관계자는 ‘현재 생산 기술 능력, 품질 인증 레벨을 통일화를 위해 본사 생산 시스템에 대한 교육 이수 및 품질 인증 관리 감독 강화를 추진하고 있다’며 ‘반도체 시장 호황에 따른 제품 대량 주문에 대비해 적재적소 한 납기 대응과 다변하는 기술에 빠르게 대응하는 것이 또 하나의 목적’이라고 말했다.
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    라이센스뉴스 = 최인철 기자 |일본 호리바 제작소는 6월까지 한국 계열사의 반도체 제조장치용 매스플로컨트롤러(MFC가스유량제어기기) 생산능력을 현행 대비 약 2배로 높인다고 19일 밝혔다.

    기존 공장 설비 증강을 위해 약 1억엔(10억원)을 투자한다. 설비 증강으로 한국 그룹사인 호리바에스테크코리아의 MFC 생산능력은 월 1000대 규모가 될 전망이다. 고정밀도, 고속 응답이 특징인 압력식 하이엔드 모델은 다층화나 미세화가 진행되는 반도체 제조용으로 한국 반도체기업에 신속한 공급에 나설 예정이다.

    코로나19 감염 확대로 확산된 원격근무와 제5세대 통신(5G) 기술 투자 등으로 반도체 수요가 급증하고 있는데 따른 것이다. 호리바 제작소는 MFC 세계시장 점유율 약 60%를 차지하고 있다. 


    출처=호리바제작소

    출처 : 라이센스뉴스(http://www.lcnews.co.kr)


 Products

  • Partica CENTRIFUGE
    Centrifugal Nanoparticle Analyzer...

  • High resolution particle size distribution measurement by centrifugation.

    With a measurement range of 10 nm - 40 μm, the Partica CENTRIFUGE CN-300 applies centrifugal force of up to 30,000g and uses temperature control to produce accurate measurement results for a variety of samples.

    Developed based on customer feedback and improving upon existing and new HORIBA technologies, the result is an analyzer that provides safe and reliable operation while also being easy to use.

    *Available in China, India, Japan, Korea, ASEAN and other select countries.

    Realizing precision particle size distribution measurement for undiluted to dilute samples
    The key features of centrifugation is that the particle size is measured following classifying by size. As a result, a wide range of high-precision results can be obtained in a single analysis. Partica CENTRIFUGE enables you to measure by two measurement techniques: The “Line-start mode” and the “Homogeneous mode”.

    Small amounts of foreign particle or agglomeration can be captured
    With its high resolution, Partica CENTRIFUGE can capture a small amount of foreign particles. This instrument enables you to obtain reliable measurement results throughout the range of the particle size distribution, including small populations, as well as to the low area of the distribution.

    Features stable measurement even for the long time measurements
    The cooling function of the sample chamber and the rotor prevents temperature increases of sample fraction during rotation. This improves the reliability of the measurement results by keeping the viscosity constant. Partica CENTRIFUGE is designed for quieter, easier, safer operation.

    Robust and easy to use

    •Easy and safe operation by simply setting a cell filled with sample on a rotor.

    •The cuvette-type cell is easy to clean and replace, reducing the risk of contamination.

    •Complies with international safety standards (IEC6101-1/2-020)


    Measurement Examples

    High resolution particle size distribution measurement

    As a result of measuring a mixed sample containing four types in equal concentrations of, standard silica particles, four types of distributions were obtained with almost the same area. Using the line-start mode measurement, an accurate particle size distribution is obtained because the particles are classified by the centrifugal force.

    Sample:  Standard particles (One drop each of particles with sizes of 0.48 μm,
         0.73 μm, 0.99 μm, and 1.57 μm are mixed)
    Amount of sample:  10 μL
    Solvent:  Aqueous sucrose solution
    Measurement condition:  Line-start mode


    Measurement of the particle size distribution of a small quantity, high concentration sample

    Example of black pigment used for inkjet printers starting with an undiluted solution. As a result, the particle size distribution of a high concentration sample, which is difficult to measure is shown, with high precision from a small 2 μL sample

    Sample:  Black pigment for inkjet printers (undiluted solution)
    Amount of sample:  2 μL
    Solvent:  Aqueous sucrose solution
    Measurement condition:  Line-start mode

  • Partica LA-960V2
    Laser Scattering Particle Size Distribution Analyzer...

  • HORIBA proudly introduces the newest breakthrough in particle size technology.

    This latest evolution in the LA series advances scientific knowledge for tomorrow's world through intuitive software, unique accessories, and high performance.

    The LA-960V2 continues HORIBA's proud tradition of leading the industry with innovative design.

    HORIBA’s groundbreaking optical design perfects the static light scattering particle sizing technique.

    Advanced Detector Design

    The number of detectors, angular range, and layout each contribute to overall system performance.

    Superior Instrument-to-Instrument Precision

    The LA-960V2 is designed and built to provide the same experience regardless of manufacture date, operator skill, or geographic location. Achieve unmatched instrument agreement without the hassle of correlation.

    Automatic Laser Alignment in Seconds

    Always make perfect measurements with computer-controlled laser alignment. The alignment process is finished in only a few seconds with HORIBA's innovative approach.

    Guaranteed Accuracy and Precision

    The LA-960V2 is a highly refined particle size analyzer capable of accurately measuring NIST-traceable size standards within 0.6% of specification. Fully compliant with ISO 13320 recommendations regarding the measurement of materials on the D10, D50, and D90.

    State of the Art Sampling Systems

    Wet Measurement

    Sample-to-sample analysis in less than 60 seconds

    The HORIBA LA-960V2 wet circulation system is an easy, fast and very powerful dispersion system. The standard wet system offers a full package of a dispersant fill pump, liquid level sensor, circulation pump, 30 W in-line ultrasonic probe, and drain valve, which is all software-controlled for true one-button operation. This advanced design provides highly reproducible particle size results.

    Dry Measurement

    Automated, powerful dry-powder dispersion

    The LA-960V2 PowderJet combines several unique and patented features to provide the most reproducible dry measurements. Use the Auto Measurement function to control vacuum, air pressure, powder flow, start/stop conditions, measurement duration, and data processing. Designed to handle every application including small sample amounts, friable powders, and highly agglomerated materials.

    • Smart Scans – Trigger function
      This function allows for very precious materials to be measured accurately. When the sample amount is limited or low flow ability, the Trigger functions perfectly to start and stop the measurement.
    • Self-Adjusting Powder Flow
      Historically, the biggest challenge in dry powder measurement involved establishing an even powder flow. The LA-960V2 PowderJet has solved that challenge with a self-adjusting feedback loop to maintain a constant laser transmittance. This is a crucial factor in creating reliable, reproducible dry powder size measurements.

    LY-9610 Imaging Unit

    The imaging unit allows real-time observation, particle image acquisition, and assessment of the particles in the wet circulation system. It is small and integrated in the main unit without increasing instrument footprint!

    Features

    • Detect and count even with trace amounts of unusual particles (Contaminants, large particles and aggregated particles)
    • Detect bubbles in wet circulation system.
    • Improved understanding of sample dispersion (effect of stirring, sonication, addition of surfactants, stabilizers, etc.)
    • Particle shape analysis* (Optional Advanced Software)

    Functions

    • Image acquisition and particle detection.
    • Automatic detection of large particles.
    • Automatic detection of bubbles.
    • Real time trend graph and histogram of equivalent circular diameter.
    • Histogram of shape distribution (aspect ratio, roundness, length, width) with optional advanced software.

  • XGT-9000
    X-ray Analytical Microscope (Micro-XRF)...

  • Next evolution of micro-X-Ray Fluorescence Spectroscopy Ultimate performance in speed and flexibility

    • <15µm probe size with ultra-high intensity without compromising sensitivity or spatial resolution
    • High resolution cameras and multiple illumination modes to help capture images.
    • Dual types of detectors for transmission and fluorescent X-rays
    • Detectable element range down to carbon with a light element detector

    How the XGT-9000 provide the ultimate performance in speed and flexibility

    Excitation system

    XGT-9000 provides ultimate performance and flexibility with its well-designed excitation system. The X-ray generator has high output up to 50 kV and 1000 µA. In addition, primary X-rays can be irradiated through our wide selection of probe sizes (10 microns - 1.2 mm). This includes ultra-high intensity probes to achieve fast measurement speeds.

    Optical images

    Capturing clear images is critical for micro-XRF. XGT-9000 provides high resolution cameras to grasp the image of the whole sample and its details down to microscopic level. Multiple illumination modes help to observe brilliant images, even for reflective and transparent samples.

    Sample chamber

    XGT-9000 accommodates a wide variety of samples from micro-size fragments, printed circuit boards, coins, sheet, powder, liquid, wafers. Various kinds of sample holders can be provided. In addition, up to 4 measurement environments can be selected to pull up sensitivity.

    Detectors

    XGT-9000 provides both a transmission X-ray detector and a fluorescent X-ray detector. The transmission X-ray detector enables users to detect internal defects and foreign matter of a sample. The fluorescent X-ray detector can detect from Americium  down to carbon, with a light elements detector.

    Software suite

    XGT-9000 software, of course, covers all basic measurements such as single spot analysis, multiple spot analysis, line analysis, and map imaging. Apart from the standard software functions, advanced modules can be added to the software suite to provide more comprehensive user experiences.

    • Multilayer FPM module for thickness measurement with/without standards
    • RoHS module for RoHS screening
    • Queue module for automated multiple measurements in unattended mode
    • Particle Finding module for particle analysis and co-localized analysis
    • LabSpec Link module for data transfer to LabSpec 6 for multivariate analysis 
  • D700MG
    High Speed & Precision Pressure Insensitive Mass Flow Module...

  • Critical semiconductor manufacturing processes continuously desire precision gas flow control devices that enable both future innovation, and lab to fab transition of leading edge memory and logic device. HORIBA's propose the new pressure based MFC D700MG, the upper compatible model of the D500MG to support customer’s challenges.

    • On-Tool Gas and Full Scale Configuration Change *Only EtherCAT 

      • Provide flexibility to process optimization  

    • 100ms Step-up Response & MFC-to-MFC deviation control 

      • Deliver high productivity and greater process performance 

    • MRMG functionality for small flow rate(Bin101 – Bin105) 

      • Provide flexibility to process requiring small flow rate 

    • Better Valve Shut-off and Corrosion Resistance by PFA nozzle 

      • Robustness with less particle risk reduce down time and optimize yield  

    • State Monitor Function 

      • Provide more internal data for smarter failure prediction  

    Output items of state monitor function

    Flow/Pressure zero adjustment counts 

    Valve drive counts 

    Record of max/min P0,P1,P2 pressure 

    Record of max/min Block temperature 

    Total time over/below pressure spec. 

    Total time over/below temperature spec. 

    Total working time 

    Total control time 

    Total flow time (per calibration instance) 

    Total flow rate (per calibration instance)