반도체 공정 및 일반 산업에 필요한 초고순도 가스를 실시간으로 측정할 수 있는 분석기
CRDS (Cavity Ring-Down Spectroscopy) 분석법을 통해 분석값을 더욱 정확하고 빠르게 측정
일반 대기 중 HF, HCl, NH3, 온실가스 등을 분석하여 환경 관리도 가능한 분석 장비
<SPECIFICATION>
Gas Type : N2, O2, Ar, He, H2, CDA(Air), CH4, CO, CO2, etc.
Range : 0 (ppt) - 2000 ppm
Response time : 1 minute to 95% (for almost gases)