WaferSense ( AVS / ALS / AGS / ATS2 / APS / AMS / ARS / AVLS ) 

▶ 전세계 주요 반도체 팹 및 장비 OEM 기업들의 양품수율 향상 
▶ 설비가동시간 증가 및 처리량증대를 위해 CyberOptics 무선 측정 장치 선택 
▶ 여러 OEM 기업들이 장비 표준에 WaferSensetm와 Reticle Sense® 장치를 BKM로 채택하여 반드시 사용하도록 권고 
▶ 초소형 칩 형상에 요구되는 높은 정밀도 및 정확성 향상에 도움 
▶ 웨이퍼 또는 레티클 형태의 무선 계측기를 통해 동선에 구애 받지 않고 이동이 가능하여 기존에 접근하기 어려웠거나 불가능한 위치까지 모니터링 가능 
▶ 기존 방법에 비해 시간과 비용을 절감하면서 정확하고 정밀하여 신뢰할 수 있고 반복 가능한 결과를 제공 
▶ AVS : 자동 진동 측정 시스템 / ALS : 자동 레벨링 시스템 
▶ AGS : 자동 간극 측정 시스템 / ATS2 : 자동 티칭 시스템 
▶ APS : 파티클 측정 센서 / AMS : 자동 멀티 센서 
▶ ARS : 자동 저항측정 시스템 / AVLS : 자동 레벨링,진동 측정 시스템 

제품에 대한 상세한 내용을 원하신다면 (주)원익 부스에 방문해 주시기 바랍니다. 

ReticleSense ( ATSR / AMSR / APSR / APSRQ ) 

▶ 전세계 주요 반도체 팹 및 장비 OEM 기업들의 양품수율 향상 
▶ 설비가동시간 증가 및 처리량증대를 위해 CyberOptics 무선 측정 장치 선택 
▶ 여러 OEM 기업들이 장비 표준에 WaferSensetm와 Reticle Sense® 장치를 BKM로 채택하여 반드시 사용하도록 권고 
▶ 초소형 칩 형상에 요구되는 높은 정밀도 및 정확성 향상에 도움 
▶ 웨이퍼 또는 레티클 형태의 무선 계측기를 통해 동선에 구애 받지 않고 이동이 가능하여 기존에 접근하기 어려웠거나 불가능한 위치까지 모니터링 가능 
▶ 기존 방법에 비해 시간과 비용을 절감하면서 정확하고 정밀하여 신뢰할 수 있고 반복 가능한 결과를 제공 
▶ ATSR 레티클 타입 : 자동 레벨링 시스템 
▶ APSR레티클 타입 : 파티클 측정 센서 
▶ APSRQ : 레티클(쿼츠) 타입 파티클 측정 센서 
▶ AMSR : 레티클(쿼츠) 타입 자동 멀티 센서 

제품에 대한 상세한 내용을 원하신다면 (주)원익 부스에 방문해 주시기 바랍니다. 

infiTOF-DuonHi-Resolution and Compact TOF-MS Model MS-infiTOF-II 

▶ High-Resolution 독창적인 멀티 턴 기술로 실현된 휴대용 크기의 TOF(Time of Flight) 질량 분석기입니다. 
▶ 휴대용 TOF-MS는 고정밀, 고해상도 및 실시간 분석을 수행합니다. 
▶ 멀티턴 기술을 사용함으로써 전통적인 질량 분석기보다 현저히 작은 사이즈를 자랑합니다. 
▶ 분해능의 손실 없이 휴대성을 확보한 이 제품은 기존에 하지 못했던 현장 실시간 테스트 및 무선동작의 가능성을 열어 주었습니다. 
▶ 다중 반사-TOF와 같은 동일한 종류의 기술이 존재하지만, 일반적으로 감도와 분해능 사이에 측정 가능한 절충점이 있습니다. 
▶ 특허받은 멀티 턴 방식은 "완벽한 초점“을 구현했으며, 진공 상태에서 평균 자유 경로 이온 손실률은 턴 당 약 1~2%입니다. 

제품에 대한 상세한 내용을 원하신다면 (주)원익 부스에 방문해 주시기 바랍니다. 

STPC3 Scanning Threshold Particle Counter Model 9010-03 

▶ 3nm 초순수 액체 입자 및 희석 용매 품질을 모니터링하고 정밀하게 측정하는 계측기입니다. 
▶ 입자 농도에 매핑된 액체 내 광산란 방식이 아닌 분무 + 응축 입자 계수 방식으로 STPC3의 고유 기술입니다. 
▶ 동일한 STPC3의 교차 성능 검증을 통해 3개 크기 채널(>3, >9, >15nm) 모두에서 우수한 단위 대 단위 일치가 확인된 제품입니다. 
▶ Kanolysis 소프트웨어 플랫폼은 일체형 제어, 자동 샘플링 시퀀스, 실시간 데이터 분석 기능을 통합하여 제공합니다. 
▶ 유연성 있는 시스템과 스마트한 워크 플로우 자동화 기능을 통해 생산성 향상에 기여할 수 있습니다. 

제품에 대한 상세한 내용을 원하신다면 (주)원익 부스에 방문해 주시기 바랍니다. 

LNS Liquid Nanoparticle Sizer System Model 9310 

▶ 나노 사이즈(6~562nm)의 특성을 정확하고 빠르게 측정하는 계측기입니다. 
▶ 보편적인 상대 입자 농도가 아닌 실제 수 농도를 측정하는 방식으로 LNS의 고유 기술입니다. 
▶ Kanolysis 소프트웨어 플랫폼은 일체형 제어, 자동 샘플링 시퀀스, 실시간 데이터 분석 기능을 통합하여 제공합니다. 
▶ 유연성 있는 시스템과 스마트한 워크 플로우 자동화 기능을 통해 생산성 향상에 기여할 수 있습니다. 

제품에 대한 상세한 내용을 원하신다면 (주)원익 부스에 방문해 주시기 바랍니다.