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BUSCH KOREA

Icheon-si,  Gyeonggi-do 
Korea (South)
http://www.buschvacuum.com
  • Booth: DS10

Be welcome and visit for your vacuum journey at our booth.

Overview

Busch Vacuum Pumps and Systems is one of the largest manufacturers of vacuum pumps, blowers and compressors in the world. Our product range comprises the largest selection of solutions for vacuum and overpressure technology in all industry sectors worldwide.Our company was founded in 1963. With over 60 companies in more than 45 countries and agencies worldwide, we can provide sound advice and practical support to our customers wherever they are. All our products are available with a variety of options and advanced design features to match a diverse range of applications, so our customers benefit the most appropriate and cost-effective solutions. We constantly evaluate our activities in order to maintain the highest standards, and continue to develop innovative technologies that will define the future of vacuum system applications. Our COBRA dry screw vacuum pump and system provide high-capacity load lock solution powder handling and best-in-class pumping capacity, suitable for state-of-the-art high-strength processes for LCD, OLED, Semiconductor, and Solar products. 


  Products

  • TORRI - 다단계 회전 로브 진공 펌프
    TORRI 다단계 회전 로브 진공 펌프는 로드록(Load lock) 챔버의 펌프다운에 적합한 컴팩트하고 에너지 효율적인 솔루션입니다. 매우 낮은 기압의 최대 진공도와 동급 최고의 챔버 펌핑시간이 특징입니다....

  • 다단계 회전 로브 진공 펌프

    TORRI BD

    작동 원리

    TORRI BD 진공 펌프는 검증된 회전 로브 원리에 따라 작동합니다. 펌프로 유입된 가스는 로브의 회전에 의해 첫 번째 스테이지에서 다음 스테이지로 이송되며, 최종적으로 배출구로 배출됩니다. 로브의 특별한 외형과 정밀한 생산 공정 덕분에 로브끼리 또는 실린더와 마찰이 일어나지 않습니다. 컴프레서 챔버 내부에 추가적인 윤활제나 사용 유체(오일,물 등)가 사용되지 않습니다. 로브는 직결식 수냉 전기 모터에 의해 동기화되어 구동됩니다.

    로드록(Load lock) 챔버에 적합한 컴팩트하고 에너지 효율적인 솔루션

    1. 저진동 및 저소음
    2. 경량
    3. 작은 사이즈
    4. 건식 비접촉 작동 원리
    5. 긴 사용 수명
    6. 낮은 소유 총 비용

    TORRI BD 시리즈의 장점

    TORRI BD는 시판되는 제품 중 가장 작고 가벼우며 에너지 효율적인 건식 다단계 회전 로브 진공 펌프입니다. 이러한 특성 덕분에 로드록(Load lock) 챔버의 펌프다운에 이상적인 솔루션입니다.

    검증된 작동 원리에 의해 낮은 최대 진공도가 달성됩니다. 동급 최고의 챔버 펌핑 시간으로 총 평균 사이클 횟수를 줄일 수 있습니다.

    완전 개방형 데이터 교환 프로토콜(Modbus RTU)이 채택되어 어떤 특정 네트워크 프로토콜에도 표준 인터페이스 컴포넌트를 사용하여 쉽게 적용할 수 있습니다.

    펌프 상태를 쉽게 모니터링할 수 있는 LCD 컨트롤러를 옵션으로 선택할 수 있습니다. 모터 온도, 모터 전류, 냉각수 유량, 펌프 온도 등 관련 데이터가 표시됩니다.

  • COBRA SEMICON - 건식 스크류 진공펌프
    COBRA Semicon 건식 스크류 진공펌프는 솔라셀, 평면 패널, 반도체 및 다양한 산업용 코팅 응용 분야의 생산을 위한 모든 까다로운 공정에서 이상적으로 활용될 수 있습니다. COBRA Semicon의 작동 원리는 최신 스크류 기술을 기반으로 하며, 특허를 획득한 셀프 밸런싱 스크류를 통해 효율성의 측면에서 새로운 기준을 정립합니다. 오일프리 및 비접촉식 작동 원리는 낮은 유지보수 요구 사항, 낮은 운영 비용 및 장기 수명을 보장합니다....

  • 건식 스크류 진공펌프

    COBRA DS

    작동원리

    COBRA Semicon 건식 스크류 진공 펌프의 내부에서는 두 개의 스크류 로터가 반대 방향으로 회전합니다. 유입된 물질은 실린더와 스크류 챔버 사이로 흡입됩니다. 그리고 압축되어 배출구로 이동됩니다. 이러한 공정 중에 스크류 로터는 다른 로터 또는 실린더와 서로 접촉하지 않습니다.

    까다로운 공정을 위한 신세대 건식 진공 펌프
     

    1. 고급 스크류 설계
    2. 건식 비접촉 작동 원리
    3. 우수한 파우더 처리
    4. 효과적인 간접 수냉식
    5. 어디에나 설치가 가능한 컴팩트형 디자인
    6. 수소 배출을 위한 높은 흡입 용량
    7. 고효율 모터
    8. 통합형 진공 부스터가 장착된 다양한 사이즈 제공 가능

    COBRA DS 시리즈의 장점

    COBRA DS 건식 진공 펌프는 까다로운 응용 분야에 매우 적합한 진공 펌프입니다. 높은 수소 처리량이 필요한 경우에도 사용이 가능합니다. 그러므로 화학 증기 증착, 신속한 열 공정 또는 원자 계층 증착에 매우 적합합니다.
    다양한 크기가 제공되는 COBRA DS 시리즈는 통합형 고성능 진공 부스터가 특징입니다. 보조 펌프와 진공 부스터가 결합되어 향상된 흡입 용량 및 최대 진공도가 달성될 수 있습니다. 특허를 획득한 셀프 밸런싱 스크류 설계는 우수한 파우더 처리 및 높은 가동 시간을 보장합니다. COBRA DS 진공 펌프의 스크류는 일체형 주조로 제작되어 간극이 방지됩니다. 이를 통해 공정액 또는 입자 유입이 불가능합니다. 그러므로 부식 및 증착이 방지됩니다. COBRA DS 시리즈 진공 펌프에서는 효과적인 간접 수냉식이 사용됩니다. 그 결과, 펌프 본체 전체에서 온도 분포가 제어됩니다. 언제라도 공정 변경에 대한 대응이 가능합니다.  COBRA DS는 어디에나 설치가 가능한 디자인으로 기존 시스템에 쉽고 빠르게 설치할 수 있습니다.