건식 스크류 진공펌프
COBRA DS
작동원리
COBRA Semicon 건식 스크류 진공 펌프의 내부에서는 두 개의 스크류 로터가 반대 방향으로 회전합니다. 유입된 물질은 실린더와 스크류 챔버 사이로 흡입됩니다. 그리고 압축되어 배출구로 이동됩니다. 이러한 공정 중에 스크류 로터는 다른 로터 또는 실린더와 서로 접촉하지 않습니다.
까다로운 공정을 위한 신세대 건식 진공 펌프
- 고급 스크류 설계
- 건식 비접촉 작동 원리
- 우수한 파우더 처리
- 효과적인 간접 수냉식
- 어디에나 설치가 가능한 컴팩트형 디자인
- 수소 배출을 위한 높은 흡입 용량
- 고효율 모터
- 통합형 진공 부스터가 장착된 다양한 사이즈 제공 가능
COBRA DS 시리즈의 장점
COBRA DS 건식 진공 펌프는 까다로운 응용 분야에 매우 적합한 진공 펌프입니다. 높은 수소 처리량이 필요한 경우에도 사용이 가능합니다. 그러므로 화학 증기 증착, 신속한 열 공정 또는 원자 계층 증착에 매우 적합합니다.
다양한 크기가 제공되는 COBRA DS 시리즈는 통합형 고성능 진공 부스터가 특징입니다. 보조 펌프와 진공 부스터가 결합되어 향상된 흡입 용량 및 최대 진공도가 달성될 수 있습니다. 특허를 획득한 셀프 밸런싱 스크류 설계는 우수한 파우더 처리 및 높은 가동 시간을 보장합니다. COBRA DS 진공 펌프의 스크류는 일체형 주조로 제작되어 간극이 방지됩니다. 이를 통해 공정액 또는 입자 유입이 불가능합니다. 그러므로 부식 및 증착이 방지됩니다. COBRA DS 시리즈 진공 펌프에서는 효과적인 간접 수냉식이 사용됩니다. 그 결과, 펌프 본체 전체에서 온도 분포가 제어됩니다. 언제라도 공정 변경에 대한 대응이 가능합니다. COBRA DS는 어디에나 설치가 가능한 디자인으로 기존 시스템에 쉽고 빠르게 설치할 수 있습니다.