[XComPRO SECS Driver]
XComPRO SECS 드라이버는 반도체 및 평판 디스플레이 장비간 표준 통신 프로토콜인 SECS를 보다 쉽고 간편하게 사용 할 수 있도록 지원하는 통신용 드라이버입니다.
특히 단일 컨트롤 내에서 RS-232C 통신을 이용한 SECS-I와 TCP/IP를 이용한 HSMS 방식을 모두 지원하므로 필요에 따라 동일한 컨트롤과 사용법으로 작업환경 변화에 효과적으로 대응 할 수 있습니다.
[XGemPRO GEM Driver]
XGemPRO는 반도체 장비의 GEM 통신/제어를 보다 쉽고 간편하게 대응할 수 있는 GEM 통신용 드라이버로 SEMI E30 GEM 사양을 지원합니다.
복잡한 GEM 시나리오와 관련된 데이터를 Configuration 툴 상에서 간단히 정의하여 GEM 통신/제어를 자동으로 수행하므로 개발 비용을 절감하고 생산성을 향상시킵니다.
[XGem300PRO GEM Driver]
XGem300PRO는 XGemPRO를 기본으로 포함하고 있으며, 300mm 라인에서 사용하는 시나리오를 추가 지원하는 제품입니다.
SEMI E30, E39, E40, E87, E90, E94, E116 사양을 지원하며 Carrier, Substrate, Control Job, Process Job 등의 Object를 생성, 관리하여 사용자가 쉽게 300mm 시나리오를 대응할 수 있게 도와줍니다.