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자이스 코리아, 한국 시장에 제공된 독일 광학 기술에 기반한 반도체 관련 다양한 솔루션 소개
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포토마스크 및 제조 공정, 정밀 측정기술 등 다양한 솔루션 확인 가능한 부스 마련
[2024년 1월 17일-서울] 반도체 소재 부문의 강자인 독일 기업 자이스 코리아 (ZEISS, 대표이사: 정현석)가 오는 1월 31일부터 2월 2일까지 서울 코엑스에서 열리는 ‘세미콘 코리아 2024’에 참가한다고 밝혔다. 자이스 코리아는 이번 행사에서 기술 심포지엄 및 부스 참가를 통해 자이스 광학 기술력부터 반도체 주요 공정에 활용되는 다양한 장비와 솔루션을 선보일 예정이다.
글로벌 반도체 산업 전시회인 ‘세미콘 코리아 2024’는 매년 반도체 산업의 성장과 최신 반도체 제조 기술 등을 확인할 수 있는 자리이다. 올해 행사는 ‘Innovation Beyond Boundaries’라는 주제로 전시 뿐 아니라 글로벌 반도체 전문가가 연사로 참여하는 기술 심포지엄 등 다양한 부대행사도 개최된다. 자이스 그룹에서는 본사 기술 로드맵 시니어 디렉터인 하이코 펠트만 박사 (Heiko Feldmann)가 연사로 참석해 ‘EUV optics at ZEISS’를 주제로 자이스의 광학 기술력이 어떻게 EUV의 생산성 및 해상도 향상에 기여하는지 소개한다. 해당 발표에서는 0.33 NA (Numerical Aperture: 개구수)의 1세대 EUV 광학 시스템과 처음으로 ASML에 전달된 아나모픽 배율을 활용해 0.55 NA를 실현한 광학 모듈에 대한 내용을 공유할 예정이다.
자이스 그룹은 설립자인 Carl Zeiss(칼 자이스)의 현미경부터 시작된 175년 이상의 역사를 가진 독일 대표 광학기업이다. 반도체 분야에서는 업계의 주목을 받고 있는 DUV, EUV 리소그래피의 핵심 요소인 광학렌즈 모듈 및 포토마스크 솔루션부터 공정 제어, 소재 및 패키징 3D 분석, 측정 등 다양한 포트폴리오를 보유하고 있다. 글로벌 유일 EUV 리소그래피(Lithography) 공급사인 ASML의 전략적 파트너이기도 하다.
자이스 코리아는 코엑스 D홀 418호에 위치한 부스를 통해, 반도체 생태계를 구성하고 패키징 등 주요 공정에 활용되는 다양한 솔루션을 선보일 예정이다. 대표적인 솔루션으로는 EUV 포토마스크 관련 결함을 평가하는 ‘ZEISS AIMS® EUV’와 ‘3D Tomography(단층촬영) 계측 솔루션’이 있다. AIMS® EUV는 Aerial Image(영역 이미지) 기술을 사용해 포토마스크 결함을 검증할 수 있다. 또한 EUV AutoAnalysis 소프트웨어 패키지를 사용해 이미지 분석 및 데이터 처리 자동화의 성능 개선을 돕는 액티닉 마스크 측정 시스템이다. 3D Tomography는 포커스 이온빔(FIB)으로 제작한 단층을 SEM(주사전자 현미경) 모듈을 활용해 3차원 이미지로 구현하는 장비다. 이를 통해 나노미터 정확도의 반도체 패턴 샘플링, 분석, 측정 및 검증이 가능하다.
이와 함께 최첨단 고해상도 3D X-ray 솔루션인 ZEISS Xradia 630 Versa를 통해 비파괴 분석을 활용하고, 다양한 분석법에 맞는 효과적인 샘플링을 가능하게 하는 ZEISS Crossbeam laser도 소개한다. ZEISS GeminiSEM의 lowkv분석법을 통한 high resolution 표면 및 재료 이미지는 반도체 소재 및 패키징의 정확한 분석에 활용할 수 있다. 이 외에도 반도체 부품 제조에 활용할 수 있는 산업용 CT 제품인 ZEISS METROTOM 1500 와 정밀 계측 3차원 측정기도 부스에서 확인할 수 있다.
자이스 코리아 정현석 대표는 “세미콘 코리아 2024 행사를 통해 자이스의 다양한 솔루션을 선보일 수 있게 돼 기쁘다. 작년보다 더 넓고 개방된 부스를 통해 다양한 기업들과 더 활발한 네트워킹이 이뤄지길 기대한다”고 밝혔다. 또한 “측정부터 EUV 광학 모듈까지, 자이스의 사업부들이 제공하는 다양한 솔루션을 통해 한국의 반도체 산업 성장을 물심양면 지원할 것”이라고 설명했다.
한편, 이번 행사 기간 동안 자이스 코리아 부스(D홀 418호)에는 채용 담당자가 상주하여 자이스의 글로벌 채용, 2024년도 자이스 코리아 상반기 행사 및 취업 기회를 소개하고, ZEISS Open Day 참가 신청도 접수할 예정이다. 한국의 반도체 미래 인재들을 위한 자리인 ‘ZEISS Open Day’는 자이스 코리아 입사를 희망하는 학생들이 자이스 코리아 서울 본사를 방문하는 자이스 브랜드센터 투어 및 현직 엔지니어와의 네트워킹 프로그램이다.
ZEISS 그룹은 175년 이상의 역사를 가진 글로벌 광학전문 기업이다. 안경 렌즈나 카메라 렌즈 등 소비자용 첨단 광학 제품을 취급하는 비전 사업부(VIS)와 스마일 라식으로 더 익숙한 의료기기 사업부(MED), 생명과학 및 재료 연구를 위한 현미경 솔루션을 제공하는 현미경 사업부(RMS), 반도체 마스크 제품과 서비스를 제공하는 반도체 사업부(SMT), 그리고 고객의 품질 보증에 기여하는 품질 솔루션 사업부(IQS)로 구성되어 있다.
ZEISS 코리아는 1986년 한독 합작투자 법인(Joint Venture)으로 설립되어 2004년에 100% 독일 투자 법인으로 전환됐다. 그 후, 37년간 그룹 핵심 기술인 광학 솔루션을 기반으로 한국 시장에서 의료산업과 소비재, 그리고 반도체 등 기술 산업 분야에서 핵심적 역할을 해오고 있다.
한국 시장은 ZEISS 그룹의 글로벌 매출 TOP5 시장 중 하나로, ZEISS 코리아는 5개 사업 분야가 보유한 서비스와 제품을 한국 시장에 제공한다.