WaferSense 

 - 전세계 주요 반도체 팹 및 장비 OEM 기업들이 양품수율 향상, 설비 가동시간 증가 및 처리량 증대와 초소형 칩 형상에 요구되는 높은 정밀도 및 정확성 향상에 도움
 - 웨이퍼 형태의 무선 계측기를 통해 동선에 구애 받지 않고 이동이 가능하여 기존에 접근하기 어려웠거나 불가능한 위치까지 모니터링 가능
 - 기존 방법에 비해 시간과 비용을 절감하면서 정확하고 정밀하여 신뢰할 수 있고 반복 가능한 결과를 제공 

 - ALS  자동 레벨링 시스템 
 - AGS 자동 간극 측정 시스템
 - ATS2 자동 티칭 시스템
 - APS 파티클 측정 센서
 - AMS 자동 멀티 센서
 - ARS 자동 저항측정 시스템  

 ReticleSense 

 - 전세계 주요 반도체 팹 및 장비 OEM 기업들이 양품수율 향상, 설비 가동시간 증가 및 처리량 증대와 초소형 칩 형상에 요구되는 높은 정밀도 및 정확성 향상에 도움
 - 레티클 형태의 무선 계측기를 통해 동선에 구애 받지 않고 이동이 가능하여 기존에 접근하기 어려웠거나 불가능한 위치까지 모니터링 가능
 - 기존 방법에 비해 시간과 비용을 절감하면서 정확하고 정밀하여 신뢰할 수 있고 반복 가능한 결과를 제공

 - ATSR 레티클 타입 자동 레벨링 시스템
 - APSR 레티클 타입 파티클 측정 센서
 - APSRQ 레티클(쿼츠) 타입 파티클 측정 센서
 - AMSR 레티클(쿼츠) 타입 자동 멀티 센서

InfiTOF 

  - 직관적인 소프트웨어 인터페이스가 기반인 휴대용 질량 분석기로 높은 분해능 
  - 멀티 턴 기술을 사용함으로써 분해능의 손실 없는 강점과 전통적인 질량 분석기보다 작은 크기로 휴대성 우수 
  - 컴팩트한 사이즈로 기존에 하지 못했던 현장 테스트 및 정확한 질량 측정을 통한 실시간 모니터링의 Impurity 분석에 적합 

 - 반도체 제조 공정 가스 모니터링
 - Air 및 고순도 가스의 미량 성분 분석
 - 연료 전지 수소 가스 오염 분석
 - 연소 가스 분석
 - 동위 원소 분석

STPC3 Plus 
 - 입경 3nm 광학 입자 카운터 검출 한계 이하로 측정 가능 
 - STPC3는 잔류물(입자 전구체)과 기본 입자를 모두 측정 
 - UPW 및 희석 용매(IPA, H2O2, 암모니아, HCl) 모니터링 

신규 모델 성능 
 - KCl 등가 입자 전구체 농도에 대한 Semi StdF121 보정 추가 
 - 향상된 내식성으로 부식성 화학 물질(HCL, *황산) 측정 
 - 냄새 및 AMC Free 작동을 위해 수성 CPC와 함께 사용 가능