린텍코리아

• 부스번호:A830

Precision Solutions for Semiconductor Processes.

Overview

LINTEC has been producing the best products in the field of gas and liquid control for the past 30 years. The world's first digital type MFC was produced and applied to semiconductor and display equipment. In the liquid solution field, LINTEC has more than 20 different vaporizers, LMFC and LMFM. End-users in Semiconductor and Solar production field can be applied to high-K, low-K and plasma deposition by using the liquid solutions. It is making two or three new products every year and is currently used in CVD and ALD equipment used in the Thin Film process. Heat Exchanger, Heating Filter, and Control Valve are also used in various Liquid Vapourizing systems. LINTEC promises to provide the best gas, liquid control solution.

  보도자료

• [세미콘코리아 2023] 린텍코리아, 가스 및 액체 제어 분야 전문기업 (Jan 13, 2026)

  [세미콘코리아 2023] 린텍코리아, 가스 및 액체 제어 분야 전문기업 - 로봇기술

  국제반도체장비재료협회(SEMI)가 주관하고 450개 기업이 참여하는 대형 박람회 세미콘 코리아 2023이 1일 서울 코엑스에서 개막했다. 

  

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  이번 세미콘코리아 2023에 참가한 린텍코리아(LINTEC KOREA)는 반도체, FPD, PV 및 기타 정밀 측정, 가스 및 액체 제어 분야에서 최고의 제품을 제조하고 있으며 디지털 방식의 MFC를 생산하여 반도체 및 디스플레이 장비에 적용하고 있는 기업이다. 린텍코리아는 이번 전시회를 통해 High CP Mass Flow Controller, 열교환기 등 제어컨트롤러와 제어시스템을 소개했다.

  

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  3일간 진행되는 20여개 콘퍼런스에는 글로벌 반도체 공급망에 속한 대표 기업이 참여하여 첨단 반도체 제조 기술을 비롯해 기술 과제 해결책을 제시한다. 70여개 기업에서 120명 전문가가 연사로 참여한다.

  

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  또한 반도체 제조공정을 6개 분과로 나눠 최신 공정기술을 공유하는 SEM기술심포지엄(STS)을 포함, ▲계측·검사(MI) ▲스마트 제조 ▲테스트 ▲지속가능성 ▲시장 전망 등 인사이트를 공유한다. 해당 전시회는 3일(금)까지 진행된다

• [세미콘코리아 2018] 린텍, Coriolis식 질량 유량 센서 채용한 매스 플로 컨트롤러 소개 (Jan 13, 2026)

  [세미콘코리아 2018] 린텍, Coriolis식 질량 유량 센서 채용한 매스 플로 컨트롤러 소개

  

  [첨단 헬로티]

  린텍코리아는 1월 31일(수)부터 3월 2일(금)까지 코엑스에서 개최되는 ‘세미콘 코리아 2018’에 참가해 Coriolis식 질량 유량 센서 채용한 매스 플로 컨트롤러를 소개했다. 

  린텍의 매스 플로 컨트롤러에 채용된 Coriolis의 원리는 진동하고 있는 U자 형태의 튜브 내를 유체가 통과하면 튜브의 움직임에 저항력이 발생하고, 이 힘은 질량 유량에 비례한 비틀림을 시킨다. 이 비틀림을 센서에 의해 검출하여 질량 유량을 계측한다. 

  

  

  

  

  

  린텍의 매스 플로 컨트롤러 ‘LC-4000 시리즈’는 Coriolis식 질량 유량 센서를 채용하여 액체 종류에 의한 유량 교정이 불필요한 것이 특징이며 기화기 VU 시리즈와 함께 사용하여 액체기화 공급기로 사용이 가능하다. 부식성, 실링성이 우수한 메탈 실 또는 엘라스토머 실을 채용함으로써 메인티넌스성도 향상됐다. 또한 금속 케이스와 각종 필터의 채용으로 고주파 노이즈와 직류자계가 있는 환경에서도 안정된 동작이 가능하다. 바이패스 구조로 액체 도입과 내부 퍼지가 용이하다. 

  

  한편 ‘세미콘 코리아 2018’은 한국 반도체 산업의 지속적인 성장에 힘입어 국내 최대 규모로 진행된다. 4만 명 이상의 반도체 전문 엔지니어와 국내외 반도체 리더들이 한 자리에 모이는 반도체 산업 글로벌 축제 ‘세미콘 코리아’는 산업 발전의 촉매제 역할뿐 아니라 비즈니스의 실질적인 장으로 자리잡고 있다.