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한국 와트로 주식회사

Seoul,  Korea (South)
http://www.watlow.com
  • 부스번호:W405

Overview

Watlow는 결정 성장부터 프런트엔드 웨이퍼 공정, 백엔드 조립에 이르기까지 반도체 응용 분야에 혁신적인 열 솔루션을 제공하는 글로벌 리더입니다. 최초의 반도체 다이오드 이후 온도는 반도체 제조 공정에서 중요한 역할을 해왔습니다. Watlow는 초기부터 현장 증착, 식각 및 포토리소그래피를 포함한 업계 공정에 입증된 결과를 계속해서 제공하고 있습니다.

Watlow는 업계의 지속적인 요구와 반도체 기술 로드맵의 열 문제를 충족합니다. 우리는 R&D, 글로벌 제조 및 소싱, 새로운 열 기술 및 솔루션 도입에 지속적으로 투자하고 있습니다.

Watlow는 공정 챔버부터 저감 시스템에 이르기까지 웨이퍼 처리 성능을 향상시키기 위한 광범위한 제품과 서비스를 보유하고 있습니다. 당사의 혁신적인 솔루션은 히터, 온도 센서, 전자 장치 및 제어 장치, 정밀 접착 어셈블리, 청소 및 보수에 중점을 두고 있습니다.

  보도자료

  • (Dec 15, 2025)
  • (Jan 28, 2026)
  • (Feb 02, 2026)
  • (Feb 02, 2026)

  제품정보

  • Silicone Rubber Heater
    Improve Heat Transfer, Speed Warm Ups and Decrease Wattage Requirements 열 전달 성능 향상, 예열 시간 단축 및 소비 전력 감소...

    • Watlow silicone rubber heaters are rugged, yet thin, lightweight and flexible. Use of these heaters is limited only by the imagination. Heat can be put where it is needed. These silicone heaters improve heat transfer, speed warm ups, and decrease wattage requirements. Fiberglass-reinforced silicone rubber gives the heater dimensional stability without sacrificing flexibility. Because very little material separates the element from the part, heat transfer is rapid and efficient. The silicone rubber heaters are constructed with a wire-wound element or an etched foil element. The heater construction creates a very thin heater allowing it to fit applications where space is limited.
     
    와트로의 실리콘 러버 히터는 견고하면서도 얇고, 가볍고, 유연한 구조를 갖추고 있습니다.
    이 히터의 적용 범위는 사용자의 상상력에 의해 결정될 정도로 매우 다양하며, 필요한 위치에 정확히 열을 전달할 수 있습니다.
     
    이러한 실리콘 러버 히터는 열 전달 효율을 향상시키고, 예열 시간을 단축시키며, 요구되는 소비 전력을 감소시키는 데 기여합니다.
    유리섬유로 보강된 실리콘 러버는 유연성을 유지하면서도 히터의 치수 안정성을 제공합니다.
    발열 요소와 가열 대상 사이의 소재 두께가 매우 얇기 때문에 열 전달이 빠르고 효율적입니다.
     
    실리콘 러버 히터는 권선형 발열선(wire-wound element) 또는 에칭 포일(etched foil) 발열선으로 제작되며,
    이러한 구조는 매우 얇은 히터 설계를 가능하게 하여 공간이 제한된 환경에도 적합합니다.
  • ASSURANT Heaters
    ASSURANT HT provides an increased temperature capability up to 350°C, making it the perfect solution for the most demanding gas line applications. ASSURANT HT는 최대 350°C까지의 향상된 온도 성능을 제공하여, 가장 까다로운 가스 라인(Application) 환경에 이상적인 솔루션입니다....

    • As advanced chemistries and applications in semiconductor tools are introduced, the potential for clogged abatement lines increases and becomes more challenging to mitigate. Higher temperatures are required to negate this problem and keep your equipment up and running at peak capacity. Watlow’s new ASSURANT® HT cloth-type heaters offer a highly effective solution for eliminating clogging and fouling of abatement lines. ASSURANT HT provides increased temperature capability up to 350°C, making it the perfect solution for the most demanding applications.

    Whether you are experiencing clogging issues on existing equipment or looking to bring new equipment up to full capacity quickly and efficiently, ASSURANT HT is an ideal high-temperature solution. At Watlow, our extensive experience within the semiconductor industry has led to a broad portfolio of innovative breakthrough products that have been thoroughly tested and proven. You can be confident that our advanced products simply perform better.

    반도체 장비에 첨단 공정 화학물질과 신규 공정(Application) 이 도입됨에 따라,

    배출(Abatement) 라인 내 막힘(clogging) 발생 가능성은 점점 높아지고 있으며, 이를 해결하는 것도 더욱 어려워지고 있습니다.
    이러한 문제를 방지하고 장비를 최적의 성능으로 안정적으로 운영하기 위해서는 더 높은 온도 조건이 요구됩니다.
    Watlow의 새로운 ASSURANT® HT Cloth 타입 히터는
    배출 라인의 막힘 및 오염을 제거하는 데 매우 효과적인 솔루션을 제공합니다.
    ASSURANT HT는 최대 350°C까지의 고온 대응 능력을 제공하여,
    가장 요구 조건이 높은 적용 환경에서도 최적의 선택이 됩니다.
    기존 장비에서 막힘 문제를 겪고 있거나,
    신규 장비를 신속하고 효율적으로 최대 성능까지 끌어올리고자 하는 경우,
    ASSURANT HT는 이상적인 고온용 히터 솔루션입니다.
    반도체 산업 전반에 걸친 와트로의 풍부한 경험을 바탕으로,
    철저한 테스트를 거쳐 검증된 혁신적이고 차별화된 제품 포트폴리오를 보유하고 있습니다.
    와트로의 첨단 제품은 실제 현장에서 더 뛰어난 성능을 발휘한다는 점을 확신하셔도 됩니다.
  • Mini8® Loop Controller
    The Mini8 Controller offers high performance control usually only found in Eurotherm panel mount PID controllers. Mini8 컨트롤러는 일반적으로 Eurotherm의 패널 장착형 PID 컨트롤러에서만 볼 수 있었던 고성능 제어 기능을 제공합니다. ...

    • The Mini8 controller is the ideal partner to a programmable logic controller (PLC). Able to multi-drop on either serial, fieldbus or Ethernet communications, it offer s a real, cost-effective alternative to performing analog measurement or loop control in a PLC.
    Implementing these functions in the Mini8 controller reduces the hardware cost of the PLC, relieving it of the burden of performing analog functions – often allowing a lower specification processor to be used.
    The feature set of the Mini8 controller includes high performance PID control, graphical wiring and setpoint programming functions together with math, logic and timing function blocks.
    When used in a data acquisition installation the high density analog I/O can be combined with 6000 Series paperless graphic recorder products to provide unsurpassed local and network access to your process.
    Mini8 컨트롤러는 PLC(Programmable Logic Controller) 와 함께 사용하기에 이상적인 파트너입니다.
    직렬 통신, 필드버스(Fieldbus) 또는 이더넷(Ethernet) 통신을 통해 멀티드롭(multi-drop) 구성이 가능하며,
    PLC에서 아날로그 측정이나 루프 제어를 직접 수행하는 방식에 대한 현실적이고 비용 효율적인 대안을 제공합니다.
    이러한 기능을 Mini8 컨트롤러에서 구현함으로써 PLC의 하드웨어 비용을 절감할 수 있으며,
    아날로그 기능 처리에 대한 부담을 줄여 보다 낮은 사양의 PLC 프로세서를 적용하는 것도 가능합니다.
    Mini8 컨트롤러의 주요 기능에는
    고성능 PID 제어, 그래픽 기반 배선 설정, 설정값(Setpoint) 프로그래밍,
    그리고 수학(Math), 로직(Logic), 타이밍(Timing) 기능 블록이 포함되어 있습니다.
    데이터 수집(Data Acquisition) 시스템에 적용할 경우,
    고밀도 아날로그 I/O를 6000 Series paperless graphic recorder 제품과 결합하여
    프로세스에 대한 탁월한 로컬 및 네트워크 접근성을 제공할 수 있습니다.
  • POWERGLIDE®
    New POWERGLIDE® Enables Superior Performance of Multiple Zone Aluminum Nitride Ceramic Pedestals Multiple Zone 알루미늄 나이트라이드(AlN) 세라믹 페데스탈의 성능을 한 차원 높이다 ...

    • POWERGLIDE offers several communication protocols including EtherCAT®, which is optimized for the semiconductor manufacturing industry.
    Features and Benefits
    Built-in automatic calibration algorithm
    Eliminates downtime associated with calibration
    High TCR heater materials based temperature control
    Allows closed loop control for all zones
    Incorporates ceramic control algorithms
    Maintains the limitations of the materials to protect the pedestal
    Provides programmable, state-based PID control
    EtherCAT® communications protocol
    Ensures adherence to industry standard protocols
    POWERGLIDE®는 반도체 제조 산업에 최적화된 EtherCAT®을 포함하여
    여러 가지 통신 프로토콜을 지원합니다.
    주요 기능 및 장점 (Features and Benefits)
    자동 보정 알고리즘 내장
    → 보정(Calibration)과 관련된 장비 다운타임 제거
    높은 TCR 히터 소재 기반의 온도 제어
    → 모든 존(Zone)에 대해 폐루프(Closed-loop) 제어 구현 가능
    세라믹 제어 알고리즘 적용
    → 소재의 물성 한계를 유지하여 페데스탈 보호
    프로그래머블 상태 기반 PID 제어 제공
    EtherCAT® 통신 프로토콜 지원
    → 반도체 산업 표준 통신 규격 준수 보장
  • ULTRAMIC® Advanced Ceramic Heater
    Watlow's ceramic heater line includes the ULTRAMIC advanced ceramic heater designed for applications requiring a clean, non-contaminating heat source, while ensuring optimal effectiveness of the equipment and process. ...

    • The ULTRAMIC® ceramic heater from Watlow® are designed for thermal applications where the high performance of an advanced ceramic heater is required to ensure optimal effectiveness of the equipment and process. ULTRAMIC ceramic heaters are constructed of aluminum nitride (AlN) and incorporate a thermally matched proprietary heating element that provides maximum performance in challenging applications. AlN is especially suitable for applications requiring a clean, non-contaminating heat source. Additionally, the excellent geometric stability ensures consistent part-to-part thermal contact during heating cycles. Watlow AlN ceramic heater can operate up to 400°C or 600°C (752°F or 1112°C) depending on lead construction with an ultra-fast ramp rate of up to 150°C (270°F) per second depending on the application, heater design and process parameters. In addition to excellent thermal characteristics, ULTRAMIC ceramic heater have high electrical isolation and typically provides superior chemical resistance as compared to traditional metal heaters.
    ULTRAMIC® 세라믹 히터는 고성능 세라믹 히터가 요구되는 열 응용 분야를 위해 설계되어, 장비 및 공정의 효율을 극대화합니다.
    ULTRAMIC 세라믹 히터는 알루미늄 나이트라이드(AlN) 로 제작되었으며, 열적 특성이 최적화된 와트로의 독자적인 발열선을 적용하여 까다로운 환경에서도 최대의 성능을 제공합니다.
    AlN 소재는 청정하고 오염이 없는 열원이 요구되는 응용 분야에 특히 적합하며,
    우수한 형상 안정성(geometric stability) 으로 인해 가열 사이클 동안 부품 간 일관된 열 접촉을 유지할 수 있습니다.
    Watlow의 AlN 세라믹 히터는 리드 구조에 따라 최대 400°C 또는 600°C(752°F 또는 1112°F) 까지 운전이 가능하며,
    적용 환경, 히터 설계 및 공정 조건에 따라 초당 최대 150°C(270°F)의 초고속 승온 속도를 제공합니다.
    우수한 열적 특성 외에도 ULTRAMIC 세라믹 히터는 높은 전기 절연 성능을 갖추고 있으며,
    기존 금속 히터에 비해 우수한 화학적 내성을 제공합니다.

카테고리

200 Equipment, Assembly
  • Cleaning; Washing Equipment for Assembly & Packaging
  • Die Bonding; Attach Equipment
  • Molding; Encapsulation; Decapsulation Equipment
    • 202 Equipment, General Use
  • Heating; Annealing; Curing Equipment - Furnaces; Conveyors; Ovens; Test Chambers; Heat Treating
    • 203 Equipment, Inspection & Measurement
  • Thermal Sensing, Measurement, Analysis
    • 207 Equipment, Process
  • Cleaning; Washing; Drying Equipment for Substrate, Fab Processing
  • Deposition; Physical Vapor (PVD); Sputtering; Evaporation Equipment
    • 208 Equipment, Test
  • Burn-In Systems
    • 400 Components, Parts & Accessories
  • Chucks for Wafer and other Substrates
  • Heating elements; coils; insulation; vestibule blocks and other Furnace components
  • Sensors
  • Vacuum Systems Components & Accessories (optical monitors; Sputtering target fixtures; lubricants; p
    • 401 Sub-systems
  • Process Monitoring systems
  • Temperature Sensing; Control; Recirculators; Chillers; Heat Exchangers
    • 500 Factory Monitoring & Control Systems (FMCS)
  • Electrical; Power Distribution
  • Equipment Interface; Communication Protocols
  • Process Controls
    • 602 Manufacturing Software
  • Production Control software
    • 701 Manufacturing Services or Consulting
  • Equipment; Hardware; Product Design, Integration and Manufacturing
  • Manufacturing Process Support and Development
    • 805 PV Services
  • Research and Development
    • 902 Other
  • Other
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