• 수백만 회의 반복 사이클에서도 빠르고 정밀한 도징 성능을 제공하며, 최소 5ms의 응답 속도를 구현한 향상된 액추에이터 기술 적용
• 스웨즈락 고유의 초고순도 316L VIM-VAR 스테인리스강 밸브 바디를 적용하여 부식성 가스 환경에서도 우수한 내구성 확보
• 밸브 본체는 최대 200°C까지 가열 가능하며, 공압 액추에이터는 최대 사용 온도 150°C 이하로 유지
• 최대 Cv 0.7의 유량 계수 제공 (공장 사전 설정 옵션을 통해 Cv 0.5~0.7 범위의 커스텀 사양 제공 가능)
• 업계 표준 Swagelok ALD 밸브와 동일한 설치 footprint 유지 및 반응 챔버 인근의 제한된 공간 활용을 극대화하는 열 차단 구조(thermal isolator) 내장