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We are the professional Laser Sysytem Provider.
Microsys Engineering Co., Ltd. established in 1991. "Professional, responsible, and innovative" is our business philosophy to work with our customers. We have a top sales team and a professionally trained service team to provide advisory sales and services to meet customers' demand for advanced technology. With the innovation and development of technology and the rise of emerging industries, the investment in the high-tech field has also enabled Microsys to assist many customers in connecting with the world's advanced technology, and has been at the forefront of innovation. Our business scope includes sales, installation, maintenance, repair services, software and hardware upgrade support, parts stock, and training of high-tech equipment.
特點:
LCS 800技術規格
版本
LCS 800
工作範圍(WxDxH)
690 x 630 x 100mm
精度
+/- 5 µm
重複精度
+/- 2 µm
軸數
3軸
雷射類型
Diode pumped solid state Nd:
YAG, pulsed
波長
532 nm
設備尺寸(WxDxH)
1960 x 1650 x 2000mm
Cabinet尺寸(WxDxH)
700 x 2300 x 1600mm
Laser Nanofactory技術規格
飛秒雷射源
1028 nm ± 5 nm and 514 nm ± 5 nm
脈衝持續時間
<290 fs - 10 ps
脈衝能量
>65 μJ
最大平均功率
>4 W
重複率
60 - 1000 kHz
冷卻方式
氣冷
奈米定位：同步電流掃描的線性平台
Travel(XY)
160 mm x 160 mm
Travel(Z)
60mm
± 300 nm (XY), ± 275 nm (Z)
XYZ正交性
3 arc sec
解析度
1 nm (XY), 2 nm (Z)
最高速度
350 mm/s (YX), 200 mm/s (Z)
DALI技術規格
基本資訊
基板尺寸
從亞毫米到100 x 100 x 10mm
光學特性
雷射波長
375 or 405nm
雷射光束尺寸
1 and 3μm(軟體可選)
性能
結構長寬比
大於1:20
直寫速度(每秒光點數)
100,000Hz
大於1:20(最多到1:40)
雷射直寫解析度
真亞奈米
最小尺寸
<1
多層對準精度
0.5um
使用者介面
數據輸入格式
DXF, BMP
CAD軟體
用於設計，對準，進階固定和曝光控制
集成光學單色或彩色顯微鏡
用於檢查和對準
技術資訊
運轉溫度
21.5 ±1.5ﾟC
設備尺寸
650 x 626 x 522 (W x D x H)
電力需求
110/230 VACA, 50/60Hz
運轉濕度
<80%, non-condensing
設備重量
77kg
消耗電力
<120 VA