高精度壓電奈米定位平台
MMPX/MMPZ-series
• 光學編碼器系列可選擇1nm及100nm解析度。1nm解析度的產品可提供小於15nm位移量及50nm之重複定位精度。產品藉由德國SIOS干涉儀校準來提供最佳的產品體驗。此產品在符合市場需求的條件下具有極優異的性能表現。
 | • 高精密光學尺閉迴路控制 |
• 水平方向承重可達40N,垂直方向承重1.5N |
• 多種行程選擇:28mm~44mm |
• 多種解析度選擇:100nm / 37nm / 1nm |
• 產品皆採用Renishaw雷射干涉儀進行校準 |
產品型號 | MMPX42-28A1 | MMPX52-36A1 | MMPX62-44A1 | MMPZ42-10A1 |
行程長度 | 28mm | 36mm | 44mm | 10mm |
外觀尺寸 | 42x42x15mm | 52x52x15mm | 62x62x15mm | 42x42x37mm |
導引形式 | 交叉滾子軸承 |
材料 | 陽極鋁合金標配;可選配不鏽鋼材質 |
質量(g) | 53 | 85 | 130 | 165 |
最大負載 | 4kg | 150g |
最大軸向負載 | 150 g |
俯仰角偏擺角 | 正負200微弧度/正負100微弧度 |
最高速度 | 10 mm/s |
編碼器解析度 | 1 nm |
最小位移量 | 15 nm |
重複定位精度 | 50 nm |
機械原點 | 可選配 |
極限定位功能 | 可選配 |
客製化孔位 | 可選配 |
更多詳情請洽 : www.opmount.com.tw