CENTURY TRADING CORPORATION

MTOET MT-S1000自動光能清洗設備(MT-S1000 Auto Light Cleaning Equipment)

整體依照SEMI S2半導體安全設備規範所製作，

1. 主要配置高功率水冷光能清洗主機，最大輸出功率可達1000瓦，24/7穩定清洗品質，並搭載光學輸出系統。
2. 內部搭載FANUC機械手臂，先進的伺服控制提升作業時的穩定性。
3. 設備為腔體式設計讓製程期間內部保持負壓環境，設有抽氣檢驗開關。
4. 配置工業用高功率集成系統，粉塵回收率高達99.9%。
5. 製程區、維修區皆設有安全門鎖及緊急開關。
6. 機櫃外方設有24寸觸控面板，設置清洗參數的控制系統，也可隨時監控製程情況。

7. 除上述以外，MT-S1000自動光能清洗設備更是拿到台灣、美國、日本、中國等四國專利證書『基底材料之表面處理裝置及其表面處理方法』，在全球注重的碳排放議題也拿到『ISO14067產品碳足跡』、『ISO14025產品環境宣告』認證，除了讓製程上達到產能效益提升，也更完整了安全以及全球環保的議題，創造新世代的清潔工業。

   『利用業界最新的光能清洗科技，使用最少的耗能，創造最好的效果。』

• 高精度孔加工技術

Mega-SSS擁有卓越的加工精度，能夠實現高精度的孔加工。其先進的控制系統和精密的機械結構確保了每個孔的定位精度和表面質量。這對於半導體產業中的微細孔等加工至關重要，能夠確保產品的性能和可靠性。

• 自動化操作

Mega-SSS支持自動化操作，具備自動換刀和自動工件裝卸功能。機器可以在不同加工任務之間自動切換工具，並實現自動化的工件裝卸過程。這大大提高了生產效率，同時降低了人為錯誤的風險。

• 微細孔加工的專業性

微細孔是半導體製造中的關鍵工藝，而Mega-SSS特別適用於微細孔的加工。它能夠實現高精度、高效率的微細孔加工，確保孔的尺寸和位置的準確性。這使得半導體製造商能夠更好地滿足市場需求，提供更先進的產品。