择良辰选吉日，2024年5月20日上午10点16分，天仁微纳纳米压印中试平台一期（NTS Center - Nanoimprint Total Solution Center）百级超净间启用仪式圆满举行！纳米压印中试平台（一期）超净间面积约1600平，包括百级、千级和万级等级，设备近百台，总投资数亿元。设备包含30多台天仁微纳自产各种型号的纳米压印设备，压印种类从热压印、transfer Printing到紫外压印，压印方式从辊压到面压到SR步进式压印，基材尺寸包含wafer pieces到2/3/4/6/8/12寸，面板级G2和G5尺寸，设备类型包含手动上下片、cassette to cassette自动上下料设备，以及包含从晶圆清洗、plasma处理、涂胶、热处理、自动复制工作模具、自动对位、压印、固化、脱模等全工序流程的纳米压印cluster生产线设备（3台）；
除此之外，各种压印工艺配套、表征设备齐全，包括晶圆全自动RCA、有机清洗、Plasma、HMDS、模具抗粘处理等预处理设备，各种涂胶设备spin-coating半自动设备8台，全自动3台，ink jet printing，slot die coating，slit coating、微透镜自动点胶等设备；纳米压印模具制造设备包含电子束光刻、激光直写、mask aligner、激光干涉曝光、ICP、RIBE、去胶机、ALD、电铸翻模、晶圆键合等；表征设备包括SEM、AFM、共聚焦、FIB、椭偏仪、膜厚仪、台阶仪、水滴角测试仪等；
天仁微纳NTS Center应该是目前全球范围内纳米压印细分领域设备和配套工艺设备最全的中试平台，天仁微纳在该平台配备超过50位资深工艺工程师为客户提供技术支持、材料knowhow以及项目经验，该中试平台的目标是让客户以极低的成本将使用纳米压印相关技术的创新产品想法在该平台得以实现，从prototype到产品中试，验证天仁微纳纳米压印设备性能，为客户未来的产品量产打通最后一公里。