Cutting Edge Engineering for future ESG Semiconductor Clean Solution
新世代半導體ESG附屬設備與無塵室潔淨整合方案
精遠科技有限公司是一家提供高品質半導體設備的製造商，我們的產品範圍包括智能溫控設備、空汙減廢設備以及 Waste reduction > 80% 全國首創的濾網再生技術，我們的團隊具有豐富的設備經驗和技術專長，能夠根據客戶的特定需求和產品要求提供客製化的ESG設備，提高客戶的生產效率與競爭力，我們始終保持對技術的創新和研發投入，不斷提升產品的性能，才能透過自動化控制系統、智能監測和故障預警功能等，在製造市場中佔有一席之地。
LIT CLEAN TRACK Chemical Cooling System (Low Temperature)
3奈米以下先進製程標準配置
採用全數位PID控溫系統，精確控制製程所需的溫度(精度±0.1℃)。
高EER值，省電效率高。
日本進口高潔淨度PFA管路熱交換系統，符合先進製程規範。
PVD/CVD chiller (Low Temperature)
7奈米以下先進製程標準配置
採用全數位PID控溫系統，精確控制製程所需的溫度(精度±0.2℃)。
分段式大功率熱交換能力，
高COP值，節能及效率高。
ETCH chiller (High/Low/ Dual Temperature)
7奈米以下先進製程選配
採用全數位PID控溫系統，精確控制製程所需的溫度(精度±0.5℃)。
可依不同溫度製程需求，搭配適合之冷卻液及循環泵，
提高制冷/熱效益及達到穩定恆溫。
CMP chiller (Low Temperature)
先進製程實驗室專用機
搭配純鈦板式熱交換系統，不會造成製程超純水汙染疑慮，提高熱交換效益及達到穩定恆溫需求。
HOT DI Supply unit
搭配石英加熱系統，保持製程超純水潔淨，不產生汙染疑慮，亦提高加熱效率及達到穩定恆溫需求。
WTW-1000型，可進行TLV 以下的 SiH4 和其他鹵化物的高效處理
並具備安全地處理99.5%以上的PFCs氣體,極低NOx、低CO排放的廢氣處理設備。
透過各種材質的腐蝕性及副產物研究對策，實現了和以往產品相比3倍以上的維修間隔，更有效降低能源消耗控制成本
適用於製造半導體・液晶面板・太陽能電池・LED等電子零件，亦適用於化學・材料製造和各種研究室等。
Waste reduction ↑80%
Cost down ↓40%
Overall saving ↑60%
創新採用BMS建築物管理系統，整合成3D建模群組並搭載智能維運管理平台
※系統特色:
1.輕量化整合性框架，可同時支援標準工業協定。
2.採Web架構設計可支援各式雲平台及克制化UI/UX。
3.採用MQTT 通訊，可進行即時訊息傳輸及遠程控制。
4.內建用電量管理功能，可進行設備用電量監測及趨勢分析，並可擴增用電須量預測AI 模型，以提供節電策略擬定及改善。