經過在極端氣體和液體處理情況下的驗證，Turcon® Variseal® 彈簧密封件的多種型式，特別適用於最嚴苛的半導體密封應用，包括高真空和腐蝕性環境。
Turcon® Variseal® NW
這種法蘭密封件的 Turcon® 外殼包圍了彈簧，彈簧或彈簧腔與系統介質之間不可能有接觸。它是半導體應用的理想選擇，它可以在真空中成功運行並在氟氣中得到驗證。
Turcon® Variseal® NW 密封件的特點：
- 可在 -253 °C/ -423 °F 至 +260 °C/ +500 °F 的極端溫度下運行
- 空氣中的真空能力為 10-9 mbar/l/s
- 優異的磨損和摩擦特性
- 幾乎與所有介質和氣體相容，包括高溫下的氟氣
- 提供客製尺寸和標準尺寸，可輕鬆改裝當前的 NW 彈性體密封件
Turcon® Variseal® PS™
這種高性能密封件採用 Turcon® PTFE 密封體設計，並包含一個聚合物彈簧。使用系統介質壓力，它可以在低壓下精確地為密封提供能量，同時保持高壓密封的完整性。 Turcon® Variseal® PS™ 具有符合 SEMI 標準 F57-0301 的超低浸出雜質和最少的釋氣，使其成為半導體濕式加工的理想選擇。
Turcon® Variseal® PS™ 密封件的特點：
- 超低浸出和無釋氣
- -253 °C/ -423 °F 至 +80 °C/ +176 °F 的熱穩定性
- 真空密封每毫米密封圓周長度 5.3 x 10-8 mbar/l/s-1 (4.7 x 10-8 psi/in3/s-1)
- 優異的磨損和摩擦特性
- 與幾乎所有化學品相容
- 提供標準和客製密封設計
Turcon® Variseal® Ultra-Clean™
這種密封提供了最高的清潔度，使其非常適用於以維護超清潔系統為重中之重的加工設備。在 Turcon® Variseal® Ultra-Clean™ 的獨特設計中，激活密封所需的彈簧完全封閉在 Turcon® 外殼內。這意味著金屬析出機率被完全排除，這是半導體製造中的一個重要因素，其中最微小的污染都會破壞晶片的有效性。
Turcon® Variseal® Ultra-Clean™ 密封件的特點：
- 可在 -253 °C / -423 °F 至 +260 °C / +500 °F 的極端溫度下運行
- 承受超過 100 bar / 1450 psi 的高壓
- 優異的磨損和摩擦特性
- 與幾乎所有媒體相容
- 適用於活塞、桿、端面旋轉、往復和靜止情況
- 易於改裝到標準 AS-568 O-Rings 和 Variseal® 溝槽中
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