智慧化的流程，更快的測量與分析
OLS5100 雷射共軛焦顯微鏡專為故障分析和材料工程研究而設計，將卓越的測量精度和光學性能與智慧化工具相結合，使顯微鏡更易於使用。有效率且精確的測量次微米級的形狀和表面粗糙度。
次微米 3D 觀察 / 量測
觀察奈米範圍的層階，並可量測次微米級別的高度差。
符合 ISO25178 的表面粗糙度量測
可量測從線到面的表面粗糙度。
非接觸式、無破壞、快速
無須先處理樣品，只需將樣品放在載物台上即可量測。
卓越的平面解析度
405nm 紫光雷射和專用高數值孔徑物鏡可以拍攝到傳統光學 顯微鏡、白光干涉儀或紅光雷射顯微鏡無法發現的精細紋理和缺陷。
MEMS掃描器
EVIDENT 的 MEMS 掃描器能夠實現具有較低掃描軌跡失真和極小光學像差的精確 X-Y 掃描，某些雷射顯微鏡無法避免視野周邊區域量測值的波動，但 OLS5100 顯微鏡無論是量測視野中心還是邊緣，均可獲得一致的結果。
雙共軛焦系統
雙共焦系統由採用不同孔徑的兩個共軛焦光學通道組成，根據共焦鏡頭類型和數據採集模式選擇最佳通道，實現可靠數據的採集。
準確性和重複性
量測工具的性能通常用準確性表示量測值與其真實值的接近程度，用重複性表示重複量測值的變化程度，EVIDENT 基於可追溯系統的顯微鏡保證準確性和重複性，讓您對量測結果充滿信心。
視野之外的表面量測
OLS5100 顯微鏡的電動載台中包含一個長度量測模組，EVIDENT 以此確保拼接圖像數據的準確性，儘管以前的雷射顯微鏡也可跟圖案匹配拼接數據，但 OLS5100 顯微鏡能夠將長度量測模塊的位置資訊添加到圖案匹配中，可保證的精度獲得高可靠性的拼接數據。
精度管理功能
在將量測結果紀錄做為證據使用時，管理設備的狀態就非常重要，OLS5100 顯微鏡提供校準功能，可在每次量測之前使用具有校準證書的校準樣品（選配）對設備狀態進行校準。點擊一個按鈕即可使用校準樣品完成校準工作，且校準結果將做為紀錄添加到報告中。