厳しい要件のプロセス向けの新世代ドライ真空ポンプ
高い性能
高度なスクリュー設計、優れた運転品質、メカニカルブースターポンプ搭載、ソーラーモジュール、フラットパネルや半導体の製造、ならびにエッチング、CVDなどの高温ガスによるハーシュプロセスに最適、優れた粉体処理能力、過酷な用途向けのタンタルコーティングのスクリュー
高効率性
所有コストの低さ、最小限のメンテナンス、長いサービス間隔、優れたアップタイム、優れた水素処理能力、省エネ、可変温度調節
コンパクト
設置場所を選ばない設計、直結のキャンドモーター、バックポンプ、メカニカルブースターポンプをコンパクトなベースフレーム上に設置、低振動レベル
テクニカルデータ
設計排気速度:1200 m3/h
到達真空度:0.003 hPa
定格モーター出力
バックポンプ:4.0 kW
メカニカルブースター:4.0 kW
定格モーター回転数
バックポンプ:3000 min-1
メカニカルブースター:5400 min-1