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日本ブッシュ

平塚市,  神奈川県 
Japan
http://www.busch.co.jp/
  • 小間番号3736


日本ブッシュはサブファブにおける最新ソリューションをご紹介します!

日本ブッシュは「Your Complete Sub Fab Partner(あなたのサブファブ・パートナー)」をテーマに SEMICON Japan 2023に出展。半導体製造プロセスにおける安定性、安全性、効率性を支援するソリューションをご紹介します。

【見どころ】

  1. ハーシュプロセスにおいて従来比2倍の耐久性を誇るドライ真空ポンプや、当社特許取得済みのガス除害装置など、最新の真空テクノロジーを展示します。
  2. 無料コンサルティングセッションでは、グローバル市場での最新事例や豊富な知見をもとに、個別の課題に最適なリューションをご提案します。


【出展ソリューション】

  1. ドライ真空ポンプ:半導体製造プロセスの高効率化と品質向上をサポートする最新のドライ真空ポンプをご紹介します。
  2. ガス除害装置:当社特許取得済みの技術を搭載。動作信頼性を最大限に高め、最高レベルのプロセスの安定性を確保します。
  3. オンサイトサービス:経験豊富な専門家が常駐し、設備の運用を最適化し、故障時に迅速な対応を行います。
  4. ドライポンプの修理・オーバーホール:メーカーを問わず、高品質の修理・オーバーホールを提供します。

【会場で評価用ドライ真空ポンプ無料貸し出しを受け付け】

日本ブッシュのドライ真空ポンプはハーシュプロセスにおいても耐久性に優れ多くのお客様から高い評価を受けています。会期中、ドライ真空ポンプの無料貸し出しを受け付けます。

【無料コンサルティングセッション。事前予約でVICTORINOXのマルチツールをプレゼント!】

経験豊富な半導体分野の専門家がBusch本社より来日し、無料コンサルティングセッションを行います。事前予約をしていただいたお客様には、もれなくVICTORINOXのマルチツールをプレゼントします!メールにてご希望日時をお知らせください:[email protected]


皆様のご来場をスタッフ一同お待ちしております。


 出展製品

  • ドライポンプ:スクリュー式
    ハーシュプロセスにおいて従来比2倍の耐久性を誇るドライ真空ポンプ 「COBRA DS 1200」...

  • 厳しい要件のプロセス向けの新世代ドライ真空ポンプ

    高い性能

    高度なスクリュー設計、優れた運転品質、メカニカルブースターポンプ搭載、ソーラーモジュール、フラットパネルや半導体の製造、ならびにエッチング、CVDなどの高温ガスによるハーシュプロセスに最適、優れた粉体処理能力、過酷な用途向けのタンタルコーティングのスクリュー

    高効率性

    所有コストの低さ、最小限のメンテナンス、長いサービス間隔、優れたアップタイム、優れた水素処理能力、省エネ、可変温度調節

    コンパクト

    設置場所を選ばない設計、直結のキャンドモーター、バックポンプ、メカニカルブースターポンプをコンパクトなベースフレーム上に設置、低振動レベル

    テクニカルデータ

    設計排気速度:1200 m3/h

    到達真空度:0.003 hPa

    定格モーター出力

     バックポンプ:4.0 kW

     メカニカルブースター:4.0 kW

    定格モーター回転数

     バックポンプ:3000 min-1

     メカニカルブースター:5400 min-1

  • ドライポンプ:多段ルーツ式
    ロードロック向け。クラス最高レベルの省エネを誇る多段ルーツポンプ「TORRI BD」シリーズ ...

  • ロードロックチャンバー向けのコンパクトでエネルギー効率に優れたソリューション

    フレキシブル

    ロードロックチャンバー向けとして最短の排気時間

    高効率性

    極めて低いエネルギー消費、最小限のメンテナンス、優れたアップタイム

    コンパクト

    極めて小型かつ軽量

    テクニカルデータ

    設計排気速度:100-600 m3/h

    到達真空度:0.01-0.001 hPa

    モーター出力

     バックポンプ:2.2 kW

     メカニカルブースター:N/A-2.2kW

    モーター回転数

     バックポンプ:5500 min-1

     メカニカルブースター:N/A-3500 min-1 

  • サービス
    サブファブを守る、包括的なオンサイトサービスソリューション。...

  • サブファブの包括管理

    包括的なオンサイトサービスソリューション。 製造環境に安全と安心をお届けします。

    半導体製造工場の真空および除害システムの稼働を守ります。 経験豊富なオンサイトサービスチームにお任せください。
    お客様の特定の要件に合わせたオンサイトサービスから、包括的なサブファブマネジメントまで、お客様のニーズに応じたサポートをご提供します。

    弊社のすべてのオンサイトサービスチームは ISO9001:2016、 ISO14001:2016、 ISO45001:2018 規格に準拠しています。
    お気軽にご相談ください。