製品ラインナップの中でNo.1の耐熱性を持つ「セラミックタイプ」
無機色材のみをウエハ上に形成し、耐熱性を400℃まで高めました。高温プロセスでも安心してご使用いただけます。クリーンな設計でLEDやMEMSなどの工程に最適です。
面内分布を簡単に評価
ウエハの面内均一性を目視で確認することができます。専用の色差計を使えば、目視では確認の困難な軽微な差も認識しマッピングにより直感的に面内均一性を評価することも可能に。
サイズは4インチ、6インチと200ミリ。 4インチにはサファイア基板タイプもご用意。