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サクラクレパス

東大阪市加納,  大阪府 
Japan
https://plazmark.craypas.co.jp/
  • 小間番号3405


プラズマ効果を色の変化で簡単検知 プラズマインジケータ『PLAZMARK®』 画期的なプラズマ可視化ツールを是非ご覧下さい!

描画材料・文具メーカーでおなじみの弊社ですが、2014年に「簡単」「確実」「低コスト」で、「プラズマ見える化®」を実現するプラズマインジケータ™PLAZMARK®” を開発しました。プラズマの処理強度に応じてプラズマの状態を「色」で可視化できます。会場では技術者が説明員として対応させていただきます。サンプルも展示しますので是非来場いただき現物をご確認ください。

半導体業界でご要望の多い、清浄性を高めた「プラズマインジケータ™ ウエハ型メタルフリータイプ」を中心に展示致します。

<プラズマインジケータ™ 商品ラインナップ>

PLAZMARK® ウエハ型

ウエハ形状をしたプラズマインジケータになります。お使いのウエハと同様のハンドリングで装置に設置でき、手軽にプラズマ面内分布を御評価頂けます。 従来販売品のセラミックタイプに加え、新商品としてメタルフリータイプが登場。セラミックタイプは色材に一切有機物を用いておらず、400℃の耐熱性を実現。メタルフリータイプは金属不純物を極限まで排除。金属飛散が気になるお客様でもご安心してご利用頂けます。

PLAZMARK® 耐熱性ラベル

200℃までの高温プラズマプロセス向けのプラズマインジケータ™です。手軽にどこにでも貼り付けることができるラベル型になっておりますが、独自の材料技術により極力放出ガスも低減させております。感度は2種類の中からお選び頂けます。

PLAZMARK® クリーニング用

クリーニング、接着/接合前処理等の汎用の低温プラズマプロセス向けに開発されたプラズマインジケータ™です。用途に応じてO2クリーニング用、Arクリーニング用の2タイプあります。両タイプそれぞれにプラズマ強度に応じて変色感度を各3種類、さらに使い方に応じて、形状もカード型、ラベル型、シート型の各3種類用意しております。これらを組み合わせた多彩な商品ラインナップからお選び頂けます。

PLAZMARK® デスミア用

BVH、THV穴開け加工時のスミア除去に利用されるプラズマデスミア処理用のプラズマインジケータ™になります。従来のラインナップがレンジオーバーしてしまう高出力長時間の強力なプラズマに対応します。フレキシブルで貼付可能なためロールtoロール処理でもお使いいただけます。再剥離性の向上など、使いやすさをアップしてリニューアルしました。

PLAZMARK® 大気圧プラズマ用

洗浄や各種前処理、表面改質に用いられる大気圧プラズマプロセス向けのプラズマインジケータ™です。非常に高感度な色材を使用しており、プラズマ以外にUVオゾン洗浄でもご使用頂けます。今回新たに超高感度タイプを発売! 感度は3種類の中からお選び頂けます。形状もストライプ形状で貼付可能なロングラベル型と、面内分布評価に最適なシート型を用意しております。

サクラクレパスは、”WE ARE COLORING THE FUTURE” をモットーに、「こころ」のある「色」を通して、皆さまの暮らしを、そして未来を鮮やかに彩ります。

お客様のご要望に応じた製品を展示しておりますので、当社ブースへぜひお立ち寄り下さい。

※プラズマインジケータ、PLAZMARK、は株式会社サクラクレパスの商標または登録商標です。


 出展製品

  • PLAZMARK ウエハ型メタルフリータイプ
    ご使用の基板と同じ形状のインジケータを用いることにより、普段と同じハンドリングで、装置に設置でき、簡単に面内分布を可視化できます。放出ガスを低減し、清浄性を高めています。 色材に有機色材のみ採用し、金属不純物も極限まで排除しました。 クリーン度の高さが要求されるプロセスでお使いいただけるように、より高次の清浄性をめざします。耐熱温度は250℃となっています。...

  • 変色の結果は専用の『プラズマインジケータ評価システム』で簡単に数値管理することが可能です。
    目視では確認の困難な軽微な差も認識。マッピングにより直感的に面内均一性を評価できます。
    簡単にしかも短時間で結果が得られます。

    サイズは4インチ、6インチ、200ミリ、300ミリ

  • PLAZMARK 耐熱ラベル
    フレキシブル性、接着性がありますので、基板表面や装置内に自由に貼り付け評価できます。...

  • 高温プロセスに対応し、使い勝手の良い形状

    選び抜いた素材によって得られた耐熱性だけでなく、フレキシブル性も兼ね備えています。非常にコンパクトなので貼付けの自由度が高いのが特徴です。

    プロセスガスによって異なる変色結果

    酸化還元反応を利用した変色メカニズムとなっているのでプロセスガスによって得られる色が異なります。

    様々な用途例

    • 100~200℃の高温なプラズマ処理
    • 酸素のリークチェック
    • メタルマスクでのパターニングの効果や遮蔽物の影響確認
  • PLAZMARK ウエハ型セラミックタイプ
    PLAZMARK® ウエハ型 ご使用の基板と同じ形状のインジケータを用いることにより、普段と同じハンドリングで、装置に設置でき、簡単に面内分布を可視化できます。放出ガスを低減し、清浄性を高めています。...

  • 製品ラインナップの中でNo.1の耐熱性を持つ「セラミックタイプ」

    無機色材のみをウエハ上に形成し、耐熱性を400℃まで高めました。高温プロセスでも安心してご使用いただけます。クリーンな設計でLEDやMEMSなどの工程に最適です。

    面内分布を簡単に評価

    ウエハの面内均一性を目視で確認することができます。専用の色差計を使えば、目視では確認の困難な軽微な差も認識しマッピングにより直感的に面内均一性を評価することも可能に。

    サイズは4インチ、6インチと200ミリ。 4インチにはサファイア基板タイプもご用意。

  • PLAZMARK クリーニング用
    最も汎用性が高く様々な分野でお使いいただける、簡単便利なプラズマインジケータ...

  • PLAZMARK® O₂クリーニング用は

    O₂をはじめ、N₂、Air、CF₄、H₂、NH₃などラジカル性のプラズマ検知に最適化したインジケータです。(Arプラズマでも変色する場合があります)Oラジカルに反応するため、UV洗浄・UVオゾン洗浄にも適用できます。

    PLAZMARK® Arクリーニング用は

    O₂クリーニング用では検知しにくいイオン性のArプラズマを効率よく検知できるインジケータです。ラジカル主体のプラズマや、ラジカル源となるガスとの混合系では、O₂クリーニング用のほうが適しています。

    目的に合わせてお選びいただける3形状

    気になる箇所に手軽に設置できる「カード型」
    シールのように貼付け可能な「ラベル型」
    大面積で分布を捉えることのできる「シート型」

  • PLAZMARK 大気圧プラズマ用
    プリント配線板製造/FPD製造/フィルム加工などの大気圧プラズマの処理効果やコロナ放電やUVオゾン洗浄の効果確認に最適...

  • マイルドなプラズマ処理でも評価可能

    高速スキャン処理にも対応できる高感度の色材を採用しているのでマイルドなプラズマでも検知して評価することができます。

    処理分布評価に有用

    これまでの濡れ試薬では判定が難しかった面内均一性評価に有用です。形状は30㎝ものさしのようなロングラベルタイプとA4サイズのシートタイプがあります。

    プラズマ以外の処理でも利用いただけるケースも

    UV洗浄やオゾン洗浄の効果確認、その他コロナ処理の確認にもお使いいただけるケースもあります。